离子交换玻璃基平面波导研究-物理电子学专业论文.docxVIP

华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 宽带、大容量、高传输率光通信网络对光电器件提出了更高的要求。集成光学 平面波导器件性能稳定、功耗低、集成化高和体积小，满足了光通信发展的需要。 利用离子交换工艺制作玻璃光波导是平面波导技术中一种重要的工艺，具有传输损 耗小、与光纤匹配良好、制作工艺简单、成本低等优点。本论文围绕离子交换波导 基平面波导的研究，完成了离子交换过程理论研究；具体的试验工艺过程；交叉波 导的优化设计；波导跟工艺条件的分析。具体包括以下内容： 首先简单介绍了离子交换原理，在此基础上提供两种离子交换制备光波导的方 法。然后讨论了离子交换导致的玻璃参数改变，包括极化率、体积和应力。最后建 立了离子交换的理论模型，在离子浓度扩散方程的基础上，计算了制作平面波导的 一维扩散方程。 其次研究了离子交换的具体实验工艺过程。重点研究离子交换的材料和实验条 件，包括玻璃的选择，作为掺杂离子源的熔盐，熔盐的熔点温度和离子交换的温度。 在他人相关研究基础上，通过大量实验确定了本文的工艺条件参数。介绍了本实验 所采用的实验设备和具体的实验过程。最后，讨论了离子交换制作的平面波导的测 试方法 接着分析了集成光学中的一个重要单元－交叉波导。提供了分析波导交叉问题 的一般方法。采用基于帕德算子的有限差分宽角传播法（FD-BPM）模拟。交叉波导 的串扰和损耗跟交叉角和