第10章光栅传感器.pptVIP

一、光栅基础知识 （一）、光栅分类及结构 1、光栅分类 按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。 按其透射形式可分为透射式光栅和反射式光栅。 按光栅表面结构不同，可分为幅值光栅（又叫黑 白光栅）和相位光栅（又叫闪耀光栅）。 按光栅应用分类，可分为长光栅和圆光栅。 目前发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅 2、光栅的结构 所谓光栅，简单地说，由大量等宽等间距的平行狭缝所组成的光学器件称为光栅。 圆光栅有三种形式：一种是径向光，其栅线的延长线通过圆心；第二种是切线光栅，其栅线的延长线与光栅盘中的一个小同心圆相切；第三种是环形光栅，其栅线为一簇等间距同心圆。 （二）莫尔条纹原理与特点 莫尔条纹具有三个特点： 1、莫尔条纹具有位移放 大作用 2、莫尔条纹移动与光栅 移动的对应关系 3、误差减小作用 莫尔条纹——亮带与暗带相间的条纹称为莫尔条纹。 莫尔条纹是由主光栅和指示光栅的透光与遮光效应形成的。 二、光栅传感器的工作原理 （一）光电转换原理 光栅传感器的光电转换系统结构： 1、光源，2、聚光镜，3、主光栅（又称标尺光栅），4、指示光栅，5光敏元件，如图10—4（a）所示。 （二） 莫尔条纹测量位移原理 当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移