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微机电系统技术基础 微电子中心 微机电系统技术基础 哈尔滨工业大学（威海）微电子中心 2008 需要具备的知识和经验 1.有充足的大学数学、物理和化学知识。 2.具备基本的电路和电子工程、材料科学、工程力学和机械设计知识。 3.熟悉MachCAD和Matlab等数学软件。 Mathcad的主要运算功能有：代数运算、线性代数、微积分、符号运算、2D和3D图表、动画、函数、程序编写、逻辑运算、变量与单位的定义和计算等。 MATLAB是矩阵实验室（Matrix Laboratory）之意。除具备卓越的数值计算能力外，它还提供了专业水平的符号计算，文字处理，可视化建模仿真和实时控制等功能。 微机电系统相关概念 微机电系统技术分类 微系统和微电子 微工程中的科学问题 微机电系统的现状与未来 参考资料 第一章微机电系统的组成和应用 1.1 引言 概念与定义 微机械（micro machine)、微系统(microsystems)或微机械电子系统（微机电系统）(micro electro mechanical system)(MEMS)是大意相同的三个名词。 microsystems technology (MST)。 NEMS—NEMX，微光机电系统（MOEMS）。 微机电系统的组成和应用 1.1引言 微机电系统与IC 微电子与微系统之间的差异 相对微电子，微系统包括很多不同