- 43
- 0
- 约1.54千字
- 约 5页
- 2019-07-06 发布于天津
- 举报
No.7NanobeammethodmeasurementmodulusmeasurementmodulusmodulusmodelmeasurementV01.40ModulusAFMmethodmodulusMeasurementPrecisionBasedareaYu—bobasedbroadusedonononnanobeamresults.Theresult7xuandatomicofoftesttestSandnanobeamonofofofofofofofofofofofteststructureforforceforforforceforceforcecorrectionofofthethethethethicknessevaluationthethethethissolvedsiliconinisintroduced.Threeissuesinfluenceload
AFMAFMmicrocmitilever’468.78allrvenanobeamnanobeam625.04SiSensitiveSiofofof312.52tinl.Schematicforcecalibration!56.26·818·
methodVVXForceForceTab.1468.78468.784OOCalculationnm.resultsO.9lO.9lO.92nanobeam625.04625.040Si96.11954.894.02980.595.95962.20.5ofof0.50.350.69312.52312.522.522287.322.O2203.362.52deflectiondeflection36.9535thetest72.58l156.26156.26188.54182.011152.8198.30184.101.0199.66185.101.5193.29179.20196.32”7·819·
NEMSAAFM.MEMSMaartenMechanicalMachineWMasterMicroelectromechani-modulusmeasurementsmechanicalmaterialmaterialmicroelectromeehanicalmodulusmassmeasuremeasurementmeasurementHuUni-BrianBoerVeecoDe—PrecisionKbasedPeter--5nanostructuresasaElectronTestEducation46.95%4on-5.69%-6.97%relativenon-destructiveL.9O.95%ntLrlO·cantileversnanoscale062a1.Pres.anda1.Researchanda1.Nanoelectrome·andScienceandSamuelandandConferenceofofofofofofofofofof34.44%34errorsenttotesttest25.37%SchematicSchematicandactuatedSPM一12.48%forforfilmsfor3causedchanicalcaldevicesandthethe7.84%thethe799.Santriibo—ofofofMaterialscharacterizationIIIIIIIthethesituationsissiliconsiliconIEEEInstrumentsInstructionloadloadloadidealininital■7■·820·
您可能关注的文档
- 基于BWRS状态方程的天然气偏差因子计算方法-石油钻采工艺.pdf
- 基于CPA状态方程计算水的热力学物性参数-天然气工业.pdf
- 基于DEA-ESDA的中国水资源利用相对效率的时空格局分析-资源科学.pdf
- 基于DE算法的10kV网架结构多目标规划-中国电机工程学报.pdf
- 基于DVS的多核实时系统节能调度-电子学报.pdf
- 基于EC观测估算最小冠层阻力分布及其在潜热通量插补中的应用.pdf
- 基于FEA和CFD的燃气调压器辅助设计及应用探究.ppt
- 基于Fluent的射流式增氧装置的数值模拟与试验研究.pdf
- 基于GIS和SWMM模型的城6雨积水模拟-水资源与水工程学报.pdf
- 基于GPRS的剩余电流动作保护器远程管理系统的-上海电力学院学报.pdf
最近下载
- 第十章血脂及浆脂蛋白检验.doc VIP
- GB 50207-2012 屋面工程质量验收规范.docx VIP
- 高铁乘务人员形体训练全套教学课件.pptx
- 六年级上册道德与法治知识点.docx VIP
- 2026年课件-《成人患者医用粘胶相关性皮肤损伤的预防及护理》团体标准解读2026-新版.pdf
- 2017-2018年度零售业消费者满意度调查报告.pdf VIP
- 〖初中数学〗整式的乘法 课件 2024--2025学年北师大版七年级数学下册.pptx VIP
- 深度解析(2026)《SYT 5679-2017钻井液用降滤失剂 褐煤树脂 SPNH》.pptx VIP
- 12J201 平屋面建筑构造图集.docx VIP
- 社会调查研究计划书.docx VIP
原创力文档

文档评论(0)