微机电器件的稳健设计.PDFVIP

第II卷第3期 工 程 设 计 学 报 Vol.1lNo.3 100-t 6月 JournalofEngineeringDesign June2004 微机电器件的稳健设计 杨 涛，何 叶，魏东梅，李磊民 (西南科技大学信息与控制工程学院，四川绵阳621002) 摘 要:徽机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机 械加工和IC加工相比，MEMS加工的尺寸偏差比较大，而且很难控制，因此需要在设计过程中充分考虑加工的不 确定性.稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性.稳健优化设计方法主要包括Taguchi 方法和基于容差棋型的方法，后者特别适合于处理带约束的优化设计问题.以微加速度计和微阀为例给出了稳健 设计