位移传感器概述.ppt

位移检测 一、长度及线位移检测 1、电感式位移传感器 一、长度及线位移检测 电感位移传感器—基本形式 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 电感位移传感器 一、长度及线位移检测 电感位移传感器 一、长度及线位移检测 2、光栅位移传感器（Grating） 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 (2) 光栅传感器特点 ①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″ ②量程大：透射式---光栅尺长（1米），反射式---几十米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度 ⑥成本高：电路复杂 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 2、光学干涉（Interference） 一、长度及线位移检测 一、长度及线位移检测 双频激光干涉位移传感器 一、长度及线位移检测 激光干涉位移传感器 二、角度及角位移检测 1、绝对码光电编码器 二、角度及角位移检测 二、角度及角位移检测 二、角度及角位移检测 2、增量码光电编码器 二、角度及角位移检测 3、圆光栅传感器 二、角度及角位移检测 三、绝对测距 1、电涡流测距 三、绝对测距 三、绝对测距 三、绝对测距 三、绝对测距 2、激光测距传感器 三、绝对测距 三、绝对测距 3、超声测距传感器 * 位移是物体上某一点在一定方向上的位置变动，因此位移是矢量。测量方向与位移方向重合才能真实地测量出位移量的大小。若测量方向与位移方向不重合，则测量结果仅是该位移量在测量方向上的分量。 位移测量从被测量来的角度可分为线位移测量和角位移测量；从测量参数特性的角度可分为静态位移测量和动态位移测量。许多动态参数，如力、扭矩、速度、加速度等都是以位移测量为基础的。 W---线圈匝数 Rm---磁路总磁阻 li---各段导磁体的长度 ui---各段导磁体的磁导率 Ai---各段导磁体的截面积 (1) 变气隙式 思考：灵敏度？ 线性度？ 线圈 铁芯 衔铁 改进方法？ 差动式 (2) 变面积式 (3) 螺管式 (2) 变面积式 (3) 螺管式 蔡萍教材P40 图3-5 意大利Marposs: 中国中原量仪: (1) 光栅传感器原理 (莫尔条纹) 构成： 叠合 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 主光栅---标尺光栅，定光栅； 指示光栅---动光栅 莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线 → 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距 放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大 → 提高灵敏度 准确性：误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 (3) 光栅传感器结构 1 – 主光栅尺（定光栅） 2 – 指示光栅（动光栅） 3 – 光电元件 4 – 透镜 5 – 光源 透射式结构： 反射式结构： 光源 → 指示光栅 → 透射 → 主光栅 →光电元件 光源 →主光栅 → 反射 →指示光栅 →光电元件 (4) 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m 开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m 开放式：量程270mm 分辨力1nm 英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意 分辨力： 0.1 ?m 0.01 ?m 中国长春光机所： 量 程：1000mm 分辨力：0.01 ?m 精 度：2 ?m 干涉原理（单频干涉）： 两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取决于两束光间的相位差Δφ 亮条： 暗条： Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相消干涉 Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相长干涉 结构： 实现要点:（1）单一光源 光源 观察屏、光电接收 固定 反射镜 被测物体 半透半反镜 （4）分光镜（半透半反） （5）固定参考反射镜 （2）被测物体 （3）光电接收 测量原理： 激光器发出一束激光， 含有两束偏振光： 左旋光，频率f1 右旋光，频率f2， 振幅相同， 频率相差约2MHz。 激光束 分光器 参考光束 测量光束 光电检测 λ/4波片 渥氏棱镜 f2→光电检测 f1→角锥棱镜 参考信号 测量信号 f2-f1 ±Δf f1±Δf1 f2-(f1± Δf) HP5528A Laser interferometer： 量程：100m 分辨力： 0.01