第十三讲设计规则详解及cadence软件环境.PDFVIP

主要内容 第十三讲 设计规则详解及 cadence软件环境 设计规则详解 cadence软件环境 反相器的版图设计 刘毅 2007.4.12 设计规则详解 设计规则详解：版图与制造 版图与制造 基本版图图形关系 主要的设计规则图形解释 设计规则 设计规则详解：基本版图图形关系 目的：使芯片尺寸在尽可能小的前提下，避免线条 宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题， 尽可能地提高电路制备的成品率。 定义：考虑器件在正常工作的条件下，根据实际工 艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)和 成品率要求，给出的一组同一工艺层及不同工艺层 之间几何尺寸的限制，主要包括线宽、间距、覆 盖、露头、凹口、面积等规则，分别给出它们的最 小值，以