精密光学元件表面洁净度成像检测系统.PDF

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44 6 Vo.l 44 No. 6 2009 12 JOURNAL OF SOUTHWEST JIAOTONG UN IVERSITY Dec. 2009 : 0258 2724( 2009) 06 0958 05 DOI: 10. 3969/j. issn. 0258 2724. 2009. 06. 027 1 2 1 1 1 朱小龙, 王 翊, 谢志江, 刘长春, 楚红雨 ( 1. , 400044; 2. , 400044) : , , . Canny , , , , , . : ; ; ; : X502 : A SurfaceCleanlinessLevelDetection by ImagingMethod for PrecisionOpti

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