晶粒表面瑕疵之快速检测系统-AOIEA.PDF

晶粒表面瑕疵之快速檢測系統 魏子軒 、溫仁佑、江偉傑、陳永祥 國家實驗研究院儀器科技研究中心 thwei@itrc.org.tw 摘要 本研究應用對象為晶粒模組(die)之表面瑕疵檢測，提出之檢測系統工作原理係利用具有偏紅光之 環形光源投射在具有複雜結構之待測物上，利用高畫素CMOS擷取瑕疵影像資訊，經由影像定位匹 配、正交子空間投影分析及相關性匹配影像處理後，判斷晶粒表面瑕疵與否。 關鍵字：晶粒瑕疵檢測、影像定位匹配、正交子空間投影分析、相關性匹配、自動光學檢測 壹、 前言 對於半導體封裝的製程而言，任一階段的製程疏失皆會造成成本的浪費，甚至瑕疵品最終流至消 費者手上，其所產生的損失及影響層面更為鉅大。因此，在生產過程當中的檢測與分類功能，是非常 重要的，且在製程的越前面進行檢測與分類，對於成本的控制是越有效的。因此晶粒分類設備一直是 被不斷的應用於各種不同的領域，不論是在DRAM 、Driver IC 及CMOS Sensor 等各方面；其中又以 Dri