单晶炉培训资料.docVIP

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  • 2019-06-06 发布于上海
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培训资料 培训提纲 拉制单晶过程异常情况及其处理。 石英坩埚的相关知识 直拉单晶操作及工艺流程,操作注意事项。 拉单晶过程中的异常情况及其处理 在拉单晶过程中,经常会出现一些异常情况,作为操作人员除了对设备运行要严密监控之外,对出现的异常情况,应具有一定的应急处理能力,本章节针对各种可能出现的异常情况,介绍一下简单的概念和应急处理的方法。 1、挂边和搭桥 挂边是指在熔料过程中,坩埚内绝大部分的多晶硅料熔完了,但有少部分或几块硅块粘在坩埚边上。 搭桥是指在化料时,坩埚原料已全部熔完了,甚至下部在沸腾,但坩埚上部有许多硅块在熔液上部相互接触,形成一座桥,悬挂在上部下不去。 产生这两种情况的主要原因:A装原料不符合要求B 提升坩埚位置和时机不合适C过早降低了熔料功率 熔硅时出现这两种情况要及时处理,就挂边而言,因为现在直拉法系统内都是装导流筒,如果挂边不处理,一旦后边拉单晶把埚位提升时,最终一定会碰到导流筒,导致后续拉晶无法进行,只有停炉,损失很大。其次是搭桥就更严重,不处理的话就什么也没法做了,只能停炉。 因此有时我们就是冒着硅跳的危险也要把这种情况处理好。处理方法:首先适当降低埚位,快速升高功率,一旦挂边后搭桥消失,应迅速降温,并适当升高埚位避免硅跳。 2、硅跳 硅跳是指熔料过程中,溶液在坩埚中像烧开水一样沸腾,或者液面突然冒出气泡形状,并且有飞溅的现象。 硅跳产生的后果

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