第三章 电阻式传感器 3.1 应变式电阻传感器 3.2 压阻式传感器 3.3 热电阻式传感器 3.4 电位计式传感器 3.1 应变式电阻传感器 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器。 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。 应变式传感器的灵敏度较高,目前已应用于各种检测系统中。 电阻应变片的种类 常用的应变片可分为两类:金属电阻应变片和半导体电阻应变片。 金属应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成,如图所示: 2.2 电阻应变片特性 敏感栅是应变片的核心部分,它粘贴在绝缘的基片上,其上再粘贴起保护作用的覆盖层,两端焊接引出导线。 金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅,厚度一般在0.003-0.01mm。 优点是散热条件好,允许通过的电流较大,便于批量生产,可制成各种所需的形状;横向效应好 2.2 电阻应变片特性 电阻应变片主要特性 灵敏系数k 当具有初始电阻值R的应变片粘贴于试件表面,试件受力引起的表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对变化 。理论和实践表明,在一定应变范围内 与 的关系满足下式 ● 为应变片的轴向应变; ● R是应变片未经安装也不受外力的情况下,于室温测得的电阻值。 2.2 电阻应变片特性 上式中的k就是应变片的灵敏系数,但应变片的灵敏系数不等于其敏感栅应变丝的灵敏系数 ,一般情况下, 。 其原因有两个:一是粘结层传递变形失真,另一个是栅端圆弧部分的横向效应。 值通常需要在规定条件下通过实测来确定,称为标称灵敏度系数。规定的条件是:试件材料取泊松系数为0.286的钢材;试件单向受力,且受力方向与应变片轴向一致。 2.2 电阻应变片特性 当将应变片粘贴在被测试件上时,由于其敏感栅是由多条长度为l的直线段和多个半圆组成,若该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变时,则各直线段的电阻将增加,但在半圆弧段,则受到变化的应变,圆弧段电阻的变化将小于沿轴向安放的同样长度电阻丝电阻的变化,所以k值减小。 机械滞后 机械滞后是指粘贴在试件上的应变片,在恒温条件下增(加载)、减(卸载)试件应变的过程中,对应同一机械应变所指示应变量(输出)之差值。 2.2 电阻应变片特性 零漂及蠕变 粘贴在试件上的应变片,在温度保持恒定没有机械应变的情况下,电阻值随时间变化的特性称为应变片的零漂,如图中 所示。 温度效应 粘贴到试件上的电阻应变片,除了感受机械应变而产生的电阻相对变化外,在环境温度变化时,也会引起电阻的相对变化,产生虚假应变,这种现象称为温度效应。 温度保持恒定,在承受某一恒定的机械应变时,应变片电阻值随时间变化而变化的特性称为应变片的蠕变,如上图中θ所示。 蠕变的方向一般与原应变量变化的方向相反。 蠕变反映了应变片在长时间工作中对时间的稳定性,通常要求 。 引起蠕变的主要原因是,制作应变片时内部产生的内应力和工作中出现的剪应力,使丝栅、基底,尤其是胶层之间产生的“滑移”所致。 应变极限 应变片的线性(灵敏系数为常数)特性,只有在一定的应变限度范围内才能保持。 当试件输入的真实应变超过某一限值时,应变片的输出特性将出现非线性。在恒温条件下,使非线性误差达到10%时的真实应变值,称为应变极限 。应变极限图如下所示: 应变极限是衡量应变片测量范围和过载能力的指标,通常要 。 影响应变极限的主要因素及改善措施,与蠕变基本相同,即应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料,基底和粘结剂的厚度不宜太大,并经适当的固化处理。 绝缘电阻 允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流称为最大工作电流。 工作电流大,应变片输出信号大,灵敏度高,但过大的电流会使应变片过热,灵敏系数产生变化,零漂及蠕变增加,甚至烧毁应变片。 绝缘电阻是指粘贴的应变片的引线与被测件之间的电阻值。 通常要求绝缘电阻在 以上。 绝缘电阻下降将使测量系统的灵敏度降低,使应变片的指示应变产生误差。 绝缘电阻取决于粘结剂及基底材料的种类及固化工艺。 动态响应特性 电阻应变片在测量频率较高的动态应变时,应考虑其动态特性。 动态应变是以应变波的形式在试件中传播的, 形式和速度相同于声波。 它依次通过一定厚度的基底、胶层(两者都很薄,可忽略不计)和栅长 而为应变片所响应时,就会有时间的迟后。 应变片的这种响应迟后对动态(高频)应变测量,尤其会产生误差。应变片的动态特性就是指其
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