面向21世纪的微电子技术1资料精.pdfVIP

维普资讯 院士论坛 G、面向21世纪的微 电子技术 中国科学院院士 阳元， 1吣 博士、教授 里 (北京大学微电子研究所，北京 100871) 摘 要 ：本文对21世纪微电子技术的发展趋势作 了一个展望。本文认为21世纪 初的微 电子技术仍将以硅基 CMOS电路为主流工艺，但将突破 目前所谓的物理 “限制”，继续快速发展 ；集成电路将逐步发展成为集成系统 ；微 电子技术将与其 他技术结合形成一系列新的增长点，例如微机电系统(MEMS)、DNA芯片等将得 到突飞猛进 的发展。具体地，超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低 K互连