MEMS传感器在医疗领域的应用.ppt

沅 MEMS Sensor in Medical BioMEMS 沅 In Sensor World The types of emerging sensor in recent years：wireless sensor, MEMS sensor, bio-sensor,etc. which are plenty applicated in MEMS field, often used at the same time. 沅 Whats MEMS? * MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）微机电系统是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统, 是一种集成微电子和微机械, 具有微观尺寸的静止或移动的装置。 相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。 沅 MEMS Product MEMS市场的主导产品为: 压力传感器（pressure MEMS sensor）、 惯性传感器（Inertial MEMS sensor）、 线性运动检测传感器 （Linear motion detectionsens