用反向法测轴系回转误差-光学精密工程.PDF

第9 卷　第2 期　 光学　精密工程 Vol. 9, No. 2 2 0 0 1 年 4 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A p r. , 200 1 ( ) 文章编号　1004924X 200 1 020 15504 用反向法测轴系回转误差 张景和, 冯晓国, 刘　伟 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春　130022) 摘要: 阐述了用反向法对高精度轴系回转误差测试的过程及测试的一些结果。对轴系各种测试方法作了 简单介绍, 重点介绍了“二元光学元件激光直接写入设备”轴系回转误差的测试过程。测得轴系的回转误 差为 0. 0 18m 。对反向法测试原理、误差分离的数学方法及实际应用, 进行了描述。总结了影响测量结果 重复性的几个因素。测试结果证明, 此方法简单实用、结果准确, 适合于精密机械设计人员使用。 关　键　词: 轴系回转误差; 反向法; 误差分离 中图分类号: TH 133. 35　　文献标识码: A 轴系和高速轴系测试之分和超高精度、高精度及 1　引　　言 精密测试之分等。 在高精度轴系测量中一般均采用高精度标准 　　高精度轴系回转误差的测试已成为精密计量 球。标准球由托架支撑, 放在轴系的顶端, 精密调 学所研究的课题之一。早在 70 年代, 国际机械生 整标准球与轴系回转中心的偏心, 即可用测量传 产技术研究会计量科学技术委员会 (C IP P ) 就通 感器测回转轴系的精度。这种测量方法一般都存 过了关于轴系回转性能描述和测定方面的文件, 在标准球自身的圆度误差和标准球与轴系的偏心 其中主要是关于回转轴回转误差的测量问题。国 差。所以在测量数据的处理中必须采用误差分离 内在高精度回转轴系测试方面的研究开展较早, 技术(E ST ) 。 “全国高精度回转轴系测试基本理论与应用学术 E ST 的方法很多, 常用的有反向法、多步法、 [2 ] 讨论会”已召开多次, 不少高等院校及科研单位有 多测头法和三测头同方位同步测量法 。反向法 许多文章论述对回转轴系测试方面的研究。高精 的优点是: 仅需一个传感器、测试系统较易调整、 度轴系装配之后, 为尽快了解到轴系精度, 以便对 数学原理简单、可直接在时域内处理。本文论述了 之修研或重新装配, 则需用一简便有效方法进行 用反向法测气浮轴系回转误差, 并对测量结果进 测量。在中科院重大设备改造项 目“二元光学元件 行了数据处理。 激光直接写入设备”课题的研制过程中, 采用了反 向法对轴系的回转精度进行测试, 得到了较好结 3　反向法测轴系回转误差 果。该测量结果与后来国家计量院测试的结果基 本相符。 　　反向法测量原理如图 1 所示, 先按图 1 (a) 进 行一次测量, 再按图 1 (b ) 进行第二次测量, 这时 2　轴系回转误差的检测方法 已将基准球及传感器都相对于轴转过了 180 °。其