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JC╱T 2342-2015 氮化硅材料相含量分析方法.pdfVIP

JC╱T 2342-2015 氮化硅材料相含量分析方法.pdf

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    本标准规定了X射线多晶衍射法测定氮化硅材料相含量的术语和定义、仪器、测试步骤及定量分析方法本标准适用于氮化硅中α相和β相的定量分析。

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