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本标准规定了用于多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体,该产品用于太阳能多晶硅生产炉的电极保护装置,其它应用领域可参照执行。
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