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可见,温度误差与组成零件几何尺寸和材料的线胀系数相关。在电容结构设计中,应尽量减少组成环节零件的数目,另一方而应尽量选用线胀系数小的材料。 4.3.2 温度对介电系数的影响 4.3.3 绝缘问题 当绝缘差时,相当于电容上并联了一个漏电阻,当用材料不好时,随温度和湿度漏电阻还剧烈改变.就会严重影响测量精度。 边缘电容计算困难,影响实际电容量,带来灵敏度降低,非线性增加。较好办法是设置防护环。防护电极的电位应等于被防护电极的电位。防护电极不仅减小边缘效应,而且会使主电极中的电场均匀。 寄生电容:是指除极板外导致并接于电容传感器上的其他附加电容,如外界人体、仪器与极板构成的电容,引线的分布电容等。 3、 整体屏蔽法; 寄生电容C1只影响灵敏度;两个寄生电容C3及C4只影响电桥的初始平衡及总体灵敏度,但不妨碍电桥正确工作。因此,寄生参数对传感器电容的影响基本上得到了排除。 3.5 增加原始电容值,减小寄生电容和漏电的影响 4.4 电容传感器及其应用 (a)为计示压力计; (b)为绝对压力计。 计示压力计:它测定压力时使用差压式传感器,低压一端为大气压,高压端接测量管道压差即为大气压的倍数。 绝对压力计:使用差压传感器,但低压端与真空室连通。 利用电容间填充物介电系数不同于空气的原理,可测定液体、粉状、小颗粒等的料位。 电容表示式为 3、差动脉冲调宽电路 又称差动脉宽(脉冲宽度)调制电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。 右图为差动脉冲调宽电路原理图,图中C1、C2为差动式传感器的两个电容,若用单组式,则其中一个为固定电容,其电容值与传感器电容初始值相等;A1、A2是两个比较器,Ur为其参考电压。 R2 双稳 态触 发器 VD1 VD2 A1 A2 A B R1 C1 C2 uAB F Q Q Ur 差动脉冲调宽电路 G t uA uA uB uB uAB uAB UF UF UG UG Ur Ur Ur Ur -U1 U1 T1 U1 -U1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 T2 U1 U1 U1 U1 T1 T2 t t t t t t t t t (a) (b) 差动脉冲调宽电路各点电压波形图 U0 UAB经低通滤波后,得到直流电压U0为 UA、UB—A点和B点的矩形脉冲的直流分量; T1、T2 —分别为C1和C2的充电时间;U1—触发器输出的高电位。 C1、C2的充电时间T1、T2为 设R1=R2=R,则 因此,输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 Ur—触发器的参考电压。 设电容C1和C2的极间距离和面积分别为 1、 2和S1、S2,将平行板电容公式代入上式,对差动式变极距型和变面积型电容式传感器可得 可见差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器,并具有理论上的线性特性。这是十分可贵的性质。在此指出:具有这个特性的电容测量电路还有差动变压器式电容电桥和由二极管T形电路经改进得到的二极管环形检彼电路等。 另外,差动脉冲调宽电路采用直流电源,其电压稳定度高,不存在稳频、波形纯度的要求,也不需要相敏检波与解调等;对元件无线性要求;经低通滤波器可输出较大的直流电压,对输出矩形波的纯度要求也不高。 4、 运算放大器式电路 其最大特点是能够克服变极距型电容式传感器的非线性。其原理如图 将Cx = 代入上式得 -A ~ uo C Cx u ∑ 运算放大器式 电路原理图 负号表明输出与电源电压反相。显然,输出电压与电容极板间距成线性关系,这就从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性。这里是假设放大器开环放大倍数A=∞,输入阻抗Zi=∞,因此仍然存在一定的非线性误差,但一般A和Zi足够大,所以这种误差很小。 三、 主要性能、特点和设计要点 (一)? 主要性能 1、? 静态灵敏度 是被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。对于变极距型其静态灵敏度kg为 可见其灵敏度是初始极板间距的函数,同时还随被测量而变化。减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿(空气的击穿电压为3kV/mm)。可在极间加一层云母片(其击穿
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