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- 2019-06-19 发布于广东
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半导体材料与工艺 甘国友教授 昆明理工大学材料与冶金工程学院 二OO七年七月 主要参考资料: [1] 《半导体材料》 杨树人著 科学出版社 2004年3月 [2] 《半导体物理》 刘恩科著 国防工业出版社 1994年4月 [3] 《半导体器件》 正田英介著 科学出版社 2001年月 0.1 序 以集成电路(IC)技术(微电子技术)为代表的半导体技术是近50多年来发展最迅速的技术。 半导体技术?生产生活、国防科技…… (Si、Ge、GaAs、InP、HgCdTe、GaN、SiC……) 半导体技术是衡量一个国家科学技术发展水平的一项重要标志。 半导体与金属、绝缘体之间的界限也不是绝对的。 重掺杂半导体的导电性能与金属类似(可具有正的电阻温度系数); 在低于1K温度下,有些半导体(如GeTe、SnTe、SrTiO3等)可显示出超导性; 纯净的半导体材料在较低温度下(低于其本征激发温度)下就是绝缘体; 半导体材料并不仅限于固体,也有液态半导体。 本征半导体中的自由电子和空穴总是成对出现,同时又不断进行复合。在一定温度下,载流子的产生与复合会达到动态平衡,即载流子浓度与温度有关。温度愈高,载流子数目就愈多,导电性能就愈好——温度对半导体器件的性能影响很大。 半导体中的价电子还会受到光照而激发形成自由电子并留下空穴。光强愈大,光子就愈多,产生的载流
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