多晶硅块检验指导书（A3版）.doc

江西赛维LDK 太阳能高科技有限公司 文件编号 LDK-WI-QA-05003 版本版次 A3 文件名称 156×156规格多晶硅块检验指导书 生效日期 200 页码 第 PAGE 10 页 共10 页 目的 指导IPQC检测室检验员对156×156规格的多晶硅块（以下简称“硅块” ）的检验,以确定所检产品是否达到品质要求。 范 围 公司生产的所有156×156规格的多晶硅块。 三、定义 3.1 870*870*420mm坩埚铸出的多晶硅锭切方成156×156规格的多晶硅块定义为大锭硅块。 3.2 720*720*420mm坩埚铸出的多晶硅锭切方成156×156规格的多晶硅块定义为小锭硅块。 四、职 责 4.1 品质工程师负责本作业指导书的编制及修订，以及负责检验员相应的作业指导。 4.2 品质检验员严格依照本作业指导书对所送多晶硅块进行检验，并依据检验结果填写相应的检验记录。 五、作业内容 5.1 IPQC检测室硅块检测流程图 硅块转入 硅块转入 IPQC检测室 外观检验电阻率检验 外观检验 电阻率检验 红外探伤检验垂直度检验 红外探伤检验 垂直度检验 少子寿命检验 少子寿命检验 边宽/长度检验 硅块判定导电类型检验 硅块判定 导电类型检验 硅块转出 硅块转出 5.2 硅块检验操作指导步骤 5.2.1外观检验 5.2.1.1 确认所送硅块的箭头标示是否清楚，每个硅块的随工单信息填写是否完整,且与硅块表面标识信息(硅锭号与硅块号)是否一致,以及确认边角料的数量。 硅块号与标识图示 硅锭号图示 5.2.1.2 与制造二部送检人员共同确认每个硅块的外观质量状况，如有崩边、崩块等外观问题，使用游标卡尺测量缺陷的长度(沿硅锭的长晶方向测量)，并把这些信息准确填写在品质记录表上和对应的硅块随工单上。 缺陷长度测量图示 缺陷注释图示 5.2.2 垂直度检验 5.2.2.1 抽样检测方法：小锭硅块按照图1抽样方案进行抽样检测硅块的垂直度，大锭硅块按照图2抽样方案进行抽样检测硅块的垂直度。 图 1 图 2 5.2.2.2使用万能角度尺测量硅块四个侧面的垂直度，即相邻两侧面间的垂直度,每个抽样硅块测量任意三个角的垂直度,每个角从硅块头部到尾部至少均匀测量三次。并将检验数据记录于《硅块检测记录表》中。 垂直度测试图示1 垂直度测试图示2 5.2.2.3 将万能角度尺两臂紧贴硅块相邻两侧面，若臂与硅块表面接触存在明显空隙，判定硅块为“S” 万能角度尺两臂与硅块表面存在明显空隙，判定硅块为“S 万能角度尺两臂与硅块表面存在明显空隙，判定硅块为“S”型硅块。 5.2.3 边宽/长度检验 5.2.3.1使用游标卡尺（精确度≥0.02mm）测量抽样硅块的边宽尺寸，小锭硅块按照图1抽样方案进行抽样检测，大锭硅块按照图2抽样方案进行抽样检测；每个硅块抽测相邻的两个边宽；用游标卡尺的量爪在硅块的两侧面进行测量，使硅块的各部位边宽尺寸都测量到。 边宽尺寸测量图示 5.2.3.2如发现有某一硅块边宽尺寸超出标准，必须加抽该硅块所在多晶硅锭位置的垂直两条线的其它硅块的边宽尺寸。 5.2.3.3 使用直尺（精确度≥1mm）测量所有硅块的长度；选择硅块尾部至头部中的一棱边，使用直尺测量此棱边的长度，测量完后在所测量的棱边上做记号，并将检验数据记录于《硅块检测记录表》中。 长度测量记号 长度测量记号 长度测量图示 长度测量记号图示 5.2.4 导电类型检验 5.2.4.1使用半导体导电类型测试仪全检硅块各侧面的导电类型，即硅块的P/N类型。 5.2.4.2 测量时硅块任选一侧面为测试面（测试面需用无水乙醇擦拭干净），依据测量的长度选取测试点，选取测试点的方式根据《多晶硅锭电阻率抽样记录表》中长度的百分比