谐振式传感器概述.ppt

* * 第九章 谐振式传感器 谐振式传感器是直接将被测量变化转换为物体谐振频率变化的装置。 优点：由于其输出为频率信号，故具有高精度、 高分辨力、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接等优点，又因无活动部件而具有高稳定性和高可靠性。 缺点：要求材料质量较高，加工复杂、成本高，并且输出频率与被测量往往是非线性关系，需要进行线性化处理。 第一节 原理与类型 一、基本原理 振子即机械振动系统的谐振频率f可近似用下式表示： 式中： 振子材料的刚度 振子的等效振动质量 上式表示振子的谐振频率 与其刚度 和等效振动质量 有关，设其初始谐振频率为 。那么，如果振子受力或其中的介质质量等发生变化，则导致振子的等效刚度或等效振动质量发生变化。这即为机械谐振传感器的基本工作原理。 二、组成与类型 谐振式传感器的组成 机械振子的类型 a）张丝式 b）膜片式 c）筒式 d）梁式 e）扁平型 f）平凸型 g）双凸型 （e、f、g为压电式谐振传感器） 第二节 特性和设计要点 一、振弦式谐振传感器特性 式中： 振弦的线密度 振弦的有效振动长度 当弦的张力增加 时，则 幂级数展开 非线性误差 灵敏度 改进：差动方式 二、振膜式谐振传感器特性 压力－频率关系曲线 非线性误差 灵敏度 三、振筒式谐振传感器特性 式中： 压差灵敏度系数 被测压力 压力－频率关系曲线 近 似 非线性误差 灵敏度 四、振梁式谐振传感器特性 近 似 压力－频率关系曲线 非线性误差 灵敏度 五、压电式谐振传感器特性 式中： 石英振子的密度 石英振子的切变模量 其中， 对频率的影响起主导作用。当石英振子受静态压力 作用时，则引起振子上应力发生变化而使振子的谐振频率 变化，而频率的变化与所加压力 成线性关系，这一静压力－频移效应主要是 随压力 变化而产生的。 工作原理： 六、设计要点 1、减小非线性 2、提高灵敏度 3、提高稳定性 4、减小温度误差 第三节 转换电路 即将与被测量有确定关系的振子谐振频率转换成电信号。 转换电路中的主要部件：激振环节 按激励信号产生的方式分类： 开环式：由一单独信号发生器产生激励信号 闭环式：由测量信号通过反馈环节产生激励信号 一、开环式转换电路－亦称间歇式电路 主要用于振弦式传感器 间歇激励式电路原理图 振弦式谐振传感器转换电路 a）电路原理框图 b）单稳态触发器 c）f－V 转换电路 即输出电压与振弦谐振频率的平方成正比 二、闭环式转换电路－亦称连续激励方式 要求振子作等幅振动，继而要求放大环节为要求的非线性，即输入输出特性为下图： 激励方式：3种 1、电流法 2、电磁法 3、电荷法 第四节 应用举例 一、振弦式传感器 振弦式压力传感器 振弦式扭矩传感器 振弦式加速度传感器 二、振膜式传感器 振膜式压力传感器 振膜式压力传感器