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只为制造更好的硅片 渡部先生 目录 1.太阳能电池用的硅片，要求的特性 2.寿命 3.氧 4.碳 5.碱 6.金属 7.提升DF化率 8.针孔对策 9.钡涂覆石英坩埚 太阳能电池用的硅片，要求的特性 • PN型硅（阴阳性硅）=Discrete半导体 •寿命=变换功率（被光激起的载流子直到再结合的时间） •氧浓度（OSF、BOD） •碳浓度 •碱 •金属杂质 氧会降低寿命 硅里含有的氧和硼（B）因光照射，会产生复合缺陷，降低少子寿命。 ①氧浓度降低 ②N型基板 起因于氧的漩涡缺陷会降低少子寿命（OSF） ①拉晶速度 ②低氧 ③高纯度 氧是从哪里进入的呢？ 在硅融化和坩埚之间的反应 Si+SiO2 →2SiO →2Si+O2 ↑ 决定氧浓度的主要原因 1.硅棒的直径和坩埚的直径 2.坩埚尺寸和硅的装入量 3.加热器温度 4.周转数 5.热对流 6.气体的流路 7.压力 OSF和拉晶速度 拉晶炉和氧缺陷 为了低氧化SiO2+Si →2SiO →2Si+O2 1.控制拉晶炉的温度分布~ 低温拉晶 2.控制氩气的流动 3.把石英坩埚结晶化 碳的影响 碳会助长氧的析出 1.控制氩气的流路 2.从上方开始减压 3.使用高压水除去坩埚周围的石英粉 碱的影响 碱助长了氧的析出 1.低碱坩埚的使用 日本特许 2050487 渡部 1991年出顾 金属的影响 金属助长氧的析出 1.使用高纯度多晶硅 为了达成100%的单晶化成品率 石英坩埚Quartz crucible 石英粒 Cristobalite piece 融化的硅 Silicon melt 单晶硅Mono-Silicon 石英Cristobalite 硅聚合物Si-polymer 坩埚crucible 影响成品率的主要原因是石英坩埚 用过的坩埚表面　1 Used Crucible surface　1 用过的坩埚表面 2 Used crucible surface 2 表面粗糙程度 Surface roughness Ra=8.3 毫米micron-meter Ra=14.2 毫米micron-meter 结晶片从石英坩埚中脱落 和硅一起融化的坩埚的内面 Inner surface of crucible Contact with Si melt 坩埚的外面 Outer of crucible 石英Cristobalite 通过硅融化的对流 Convection by Si melt 玻璃就像在高温下的液体 石英是固体 Glass is like a liquid at high temperature, Cristobalite is a solid. 钡涂覆坩埚是万能的吗？ 影响结晶化的主要原因 1.钡浓度 2.拉晶温度 3.拉晶时间 4.多结晶的纯度 如果结晶化过度… … 石英坩埚经常会因蒸汽压力产生气体 这个气体会被很厚的结晶层阻拦而变得不会脱落。 如果压力异常地增加，会破坏表面的结晶层， 异常地结晶化从而坩埚也会被破坏。 为了减少气孔 气泡的原因：坩埚中的气体（气泡等） SiO2+2Si→2SiO→2Si+O2的反应气体 对策：通过减压赶出气体 通过旋转次数把气泡赶到外周围 石英坩埚： 1.减少透明层的气泡 2.合成坩埚