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真空物理基础 一、真空基础 真空的定义 真空现象 真空的衡量 真空的意义 不同真空条件下气体分子的状态 真空的划分 真空的获得 真空泵型号及代码含义 常用真空泵的汉语拼音及名称 最常见泵的工作原理 最常见泵的工作原理 最常见泵的工作原理 真空系统 真空的测量 热偶真空计—测量低真空 电离真空计 —测量高真空 真空的应用 真空表面技术 * * 苟伟 内容提要： ★什么是真空？（工业标准的真空） ★真空的衡量（单位及换算关系） ★真空的划分（低、中、高和超高真空） ★真空的获得（泵的类型，泵的原理及真空系统） ★真空的测量（各种常见真空测量装置） ★真空的应用（真空在各个领域的应用） ★镀膜领域中的真控技术 1大气压下气体分子密度约为2.687×1025/m3； 气压1×10-4Pa的高真空中，气体分子密度约为2.65×1016/m3； …… 宇宙中，气体分子密度﹤109/km3，甚至每km3只有几个气体分子。 按照工业标准的规定，真空绝不是“完全空”，而是一种“低于一个标准大气压的气体充满空间的状态”。由此可知，工业领域所说的真空，与我们平时想象中的“完全空”的真空相差十万八千里。空无一物的理想真空，实际上是不存在的。? 真空真的是“什么都没有”吗? 气体分子密度可以接近于零，却不是零。 1、从地球表面向外空延伸，离地面距离越远，空气越稀薄； 2、宇航员在外空间时都必须穿上太空服，一方面就是为了防止宇航员被负压伤害。 3、气相薄膜沉积过程中的真空容器； 4、霓虹灯管或日光灯管； 5、AES，XPS，SEM，TEM等设备 …… 其中，1和2属于自然真空，3-5属于人为真空。人为真空需要通过真空泵系统来实现。 真空是一种环境，其衡量单位就是气体压力，压力值越低，真空度就越高 常用单位有：（1）Pa,（2）mbar,（3）Torr(mTorr) 压强单位换算关系表 1 1.013×103 760.00 1.013×105 1大气压 9.869×10-4 1 7.501×10-１ 102 1毫巴 1.315×10-3 1.333×10-１ 1 1.333×102 1托 9.869×10-6 10-2 7.501×10-3 1 1帕 大气压/atm 毫巴/mbar 托/Torr 帕/Pa 单位名称 ①Monolayer Coverage Time For an ideal gas, the time needed for monolayer coverage is given by: tML?1019/ZA where ZA is impingement rate. ②Impingement Rate (Flux) For an ideal gas, the impingement rate is given by: ZA=ρv/4 where,ρ-the number density of gas molecules v - the mean velocity 104 5 x 105 3 x 1012 10-10 UltraHigh 1 50 3 x 1016 10-6 High 10-3 5 x 10-2 3 x 1019 10-3 Medium 10-6 5 x 10-5 3 x 1022 1 Low 10-9 7 x 10-8 2 x 1025 760 Atmospheric Time/ML, tML (s) Mean Free Path(m) Gas Density, ρ (molecules m-3 ) Pressure (Torr) Degree of Vacuum P ~ 10-10 Torr Maintain a Clean Surface: P ~ 10-6 Torr Collision-Free Conditions: 气体分子数目很少，几乎不存在分子间的碰撞，分子与器壁的碰撞机会也很少 ＜10-5Pa 超高真空 气体分子的流动已为分子流，气体分子与容器壁之间的碰撞为主，而且碰撞次数大大减少，粒子沿直线飞行 10-1~10-5Pa 高真空 气体分子的流动逐渐从黏流状态向分子状态过渡，此时气体分子之间和分子与器壁之间的碰撞次数差不多 102~10-1Pa 中真空 气态空间近似为大气状态，分子以热运动为主，分子间碰撞十分频繁 105~102Pa 低真空??? 备注 真空度范围 真空等级 根据GB3163－82，真空区域大致划分如下： 常用真空泵的工作压强范围及起动压强： 1.3～1.3×10-1 1.3～1.3×10-11 低温泵 1.3×10-2 1.3×10-2～1.3×10-9 钛升华泵 6.7×10-1 1.3×10-3～1.3×10-9 溅射离子泵 1.3 1.3～