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Rena结构 Rena生产原理 Inoxside界面操作 与等离子刻蚀比较 Rena水平刻蚀清洗机1 1.冷水机； 5.上料台； 2.上位机； 6.rena柱式指示灯及其急停开关; 3.抽风管及其调节阀； 7.前玻璃窗. 4.集中供液柱式指示灯及其急停开关; 1 5 3 2 6 7 4 * Rena各部件功能介绍-1 1.冷水机: 给冷却器提供冷却水. 2.上位机:向PLC输入运行参数,监控其运行. 3.抽风管及其调节阀:排设备内废气,调节,监视抽风负压. 4.集中供液柱式指示灯及其急停开关:柱式指示灯显示集中供液运行状态,急停开关用于应急停止集中供液设备. 5.上料台:用于设备供料放硅片. 6. rena柱式指示灯及其急停开关:柱式指示灯显示rena运行状态,急停开关用于应急停止rena设备. 7.前玻璃窗:监视设备内硅片运行情况,保护设备内气体流动,隔绝设备尾气. Rena水平刻蚀清洗机2 8.电柜； 12.排放管道； 9.后玻璃盖板； 13.自动补液槽； 10.下料台；