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中华人民共和国建筑材料工业部
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部 标 准 牛 斗 .
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QSG3透明石英玻璃柑锅 、_、_+_十_十，十_、_、夕
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃柑竭。
本增祸采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层
一、技 术 要 求
1.物理、化学性能指标
(1)化学成分
a 内涂层化学成分
铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锤十三个杂质元素的总含量不得大于。.001000
其中:铝(5X10-4%; 铜簇0.1X10-,%;
铁簇0.5X10-4%; 硼提0.1X10-4 ;
钾(1X10-,%; 钠成1X10-4%0
b.堵涡坯体化学成分
铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含量不得大于。.Ol0oo
其中:铝镇60X10-4%; 铜簇0.1X10-400;
铁蕊5X10-月%; 硼镇0.3X10-4写;
钾(4X10-4%; 钠镇4X10-4%0
(2)热稳定性
试样在1100C至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹。
(3)抗结晶性
试样在 1200C温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5-3毫米的析晶白
点，每 100平方厘米不得超过 10个。
(4)涂层厚度应均匀，折合重量应符合表 1规定。
表 1
外 径 D 涂 层 重 t 外 径 D 涂 层 重 t
毫米 克 毫米 克
80 } 106 4.5
90 1 114 5.5
100 } 130 7.0
2.外观指标
(1)柑锅坯体部分(见表2).
中华人民共和国建筑材料工业部 发布 1981年 3月 1日 实施
建 筑 材 料 科 学 研 究 院 提出 碗筑材料科学研究院 起草
JC226一81
表 2
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