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中华人民共和国建筑材料工业部
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QSG1.QSG2透明石英玻璃增塌 又 州卜一叫卜向叫卜.‘辛 ·叫卜闷~卜，分卜.小.材
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃柑坍。
半导体用透明石英玻璃增坍有QSG1高纯透明石英玻瑞增坍与QSG2透明石英玻瑞增飒两种。
、技 术 要 求
1.物理、化学性能指标
(1)化学成分
a.QSG1高纯透明石英玻璃琳涡
铝、钙、镁、铁、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含1t不得大于0-001%.
其中:铝簇5X10-4写; 铜成0.1X10-`写;
铁(0.5X10-,%; 翻簇0.1X10-1%;
钾簇1X10-`%; 钠成1X10-`写。
b.QSG2透明石英玻璃琳端
铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含f不得大于。.Ol0ao
其中:铝续60X10-,%; 铜O.1X10-4写;
铁 《5X10-写; 翻O.3X10-,%;
钾镇4X10-0%; 钠簇4X10-,%.
(2)热稳定性
试样在1100℃至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹。
(3)抗析晶性
试样在 1200C温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻瑞柑坍不允许出现直径大于0.5毫米的析
晶白点;对于透明石英玻瑞柑飒不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5~3毫米的析晶白点，每
100平方厘米不得超过10个。
2.外观指标
(1)两种增竭均按外观指标分为二级(见表 1).
中华人民共和国建筑材料工业部 发布 1981年 3月 1日 实施
建 筑 材 料 科 学 研 究 院 提出 趁筑材料科学研究院 起草
do 179一81
表 1
外 观 指 标
项 目
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