第1章压电式传感器.pptVIP

7 压电式传感器 * * 7．1 概 述 压电式传感器是以具有压电效应的压电器件为敏感元件组成的传感器，它将被测量转换成电荷、产生静电电位差，是一种典型的双向有源传感器。 7．2，压电效应及压电材料 7．2．1 压电效应 （1）正压电效应 受力 极化 表面产生电荷 去掉外力 恢复原状（不带电状态） 机械能 电能 （2）逆压电效应 在晶体电介质的极化方向施加电场 机械变形 交变电场 机械振动 电能 机械能 7．2．2 压电材料 （1）压电材料的主要特征参数 ①压电系数d：它是衡量材料压电效应强弱的参数，它的大小直接关系到压电输出灵敏度。 ②弹性柔顺系数C： ③电性能参数一介电系数ε，电阻率ρ ④机电耦合系数： ⑤居里点：即压电材料开始丧失压电特性的温度。居里点越高，可得到越宽的工作温度范围。 （2）压电材料 ①压电晶体-----主要用石英晶体，即二氧化硅（SiO2） 压电晶体 压电陶瓷 压电半导体 基本组织： 光轴 电轴 机械轴 晶片电荷极性与受力方向关系： X Fx Fx lx ly X Fx Fx lx ly X Fy Fy X Fy Fy 纵向压电效应 横向压电效应 i----电荷方向 j----受力方向 Q=DF 石英晶体的压电特性： ①只在Z轴方向作用力，不会在垂直于X、Y、Z轴的面上产生电荷，这因为d13、d23、d33皆为0。 ②在垂直于Z轴的表面上不会出现电荷；这是因为d31、d32、d33、d34、d35、d36皆为0。 ③有纵向压电效应例如在X轴方向作用法向力，会在X轴的垂直面上产生电荷。 ④有横向压电效应 ⑤有剪切压电效应 （3）压电陶瓷的压电特性 基本组织：多晶体压电材料，由许多不同取向的单晶组成每个单晶又包含许多电畴。在未经极化处理的原始压电陶瓷中，各个铁电畴的自发极化取向是不规则的，各个畴的首尾相接。它们的极化效应被相互抵消，因此，原始的压电陶瓷内极化强度为零。 小磁畴 PP0 PP0 压电陶瓷的极化方向定义为 Z轴 压电系数： 7．3．4 压电晶片的串、并联 （1）并联 Q’=2Q U’=U C’=2C （2）串联 C’=Q’/C’=Q/2U=(1/2)C 7．4　　压电传感器的测量电路 7．4．1 压电传感器的等效电路 S—极板面积（m2）； t—晶体厚度（m）； εr—压电晶体的相对介电常数（石英晶体为4．58）； ε０—真实介电常数（ε０＝8．85 X 10-12F／m）。 Ra一包含压电片的泄漏、传感器的泄漏等综合反映出的绝缘电阻； Cc——引线电缆的分布电容； Ri——放大器的输入电阻； Ci——放大器的输入电容。 (1)提高C∑：加大Ca+Cc+Ci (2)提高R∑：提高Ra、Ri 7．4．2 压电传感器的测量电路 （1）把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出，以便带载。 （2）放大压电式传感器输出的微弱信号。 压电式传感器的前置放大器就有两个作用： （1）高阻电压放大器 设在压电陶瓷元件的Z轴方向作用力F为角频率ω、幅值Fm的交变力，即F＝Fmsinωt 在垂直于Z轴的表面产生的电压： 幅值为 ： 实际输入电压Ui与理想情况的输入电压Uam之幅值比为： *