ITIS專欄
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產業的智庫-ITIS
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ITIS是經濟部技術處為提昇我國產業競爭力,促成產業升級而執行的一項計畫,中文全名為「產業技術資訊服務推廣計畫」,英文全名為Industrial Technology Intelligence Service Promotion Project。
微型元件產業化之利器—金屬精微成形加工技術
經濟部技術處ITIS計畫/金屬中心 產業分析師 陳仲宜
緣起與定義
金屬精微成形的起始源自於T. Maeda在1989年在JSTP會議所提出的超精微壓床機,該文件為第一篇精微金屬元件製造的文獻,當時壓床機的量產特性受到相當的重視。次(1990)年以後,次毫米(sub-millimeter)的金屬元件製造變得極為熱門,此乃因其可以應用於微系統技術(Micro System Technology;MST)及微機電系統(Micro Electro-Mechanical Systems;MEMS)。先進國家如日本及德國經過十多年來的發展,針對精微金屬成形元件下了明確的定義:軸件的尺寸範圍為直徑在0.3~3㎜;板件的尺寸範圍則為≦200μm以下厚度。
技術內涵及應用現況
金屬精微成形加工方法可歸納為下列五種:(1)利用沖壓機械將塑性材料壓擠入模具內,把模具的形狀
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