飞秒激光加工微光学元件的研究.pdfVIP

第 33 卷 　第 1 期 中　 国 　激 　光 Vol . 33 , No . 1 　 2006 年 1 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S J anuary , 2006 　 文章编号 :(2006) 0 10 13305 　　 飞秒激光加工微光学元件的研究 1 2 孙晓慧 , 周常河 ( 1 上海工程技术大学基础教学学院 , 上海 20 1600 ;2 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800) 摘要 　利用低功率飞秒激光振荡器进行材料表面加工的研究并将其应用于微光学元件的加工制作领域 ;对飞秒激 光倍频光以及飞秒激光与光刻胶材料相互作用进行了实验 ; 以光刻胶作为牺牲层进行表面加工获得了各种玻璃光 ( ) 栅及光掩模板 ;利用光学显微镜和原子力显微镜 A FM 对实验结果进行检测 ,得到微米量级的特征线宽 ;所得光栅 的光学性能通过 HeNe 激光器进行检测 ,实验结果与理论值一致 。该研究为微光学元件的加工制作提供了新的 方法 。 关键词 　激光技术 ;飞秒激光 ;表面加工 ;烧蚀 ;微光学 中图分类号 　TN 249 ; TN 405 　　　文献标识码 　A Fabrication of Microoptical Elements with Femtosecond Laser SU N Xiaohui1 , Z HOU Changhe2 1 Col leg e of F un d ament al S t u d ies , S hang hai Uni ve rs i ty of E ng i nee ri ng S cience , S hang hai 20 1600 , Chi na 2 S hang hai I ns ti t ute of Op tics an d F i ne M echanics , The Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na Abstract 　Novel fabrication of microop tical element s wit h t he low power femto second la ser o scillator i s described . Besides reducing t he co st and complexit y of t he la ser sy st em , femto second la ser o scillator p ermit s fa st er and more efficient fabrication . Variou s gla ss gratings and p hotomask s are obt ained t hrough t he surface fabrication of t he p hotoresi st layer a s t he sacrificial layer . The p hotoma sk s and microop tical element s wit h smoot h edges have been obt ained and checked wit h a convention