同步辐射讲座.pdf

!!!!! 讲 座 ! !!!! 同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法———LIGA 技术# 刘 刚 田扬超= （中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥 230026 ） 伊福庭 彭良强 （中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室 北京 100039 ） 摘 要 简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA 技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深 度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介绍了国内外利用LIGA 技术进行微电子机械系统研发的现状. 关键词 LIGA 技术，微电子机械系统，同步辐射光刻 INTRODUCTION TO LIGA TECHNOLOGY LIU Gang TIAN Yang-Chao=