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半导体物理—— 第六章 pn结 王 振 第二十讲 2013-05-27 王振——重庆邮电大学 1 主要内容： 1、pn结能带图及载流子分布； 2、pn结整流特性； 3、pn结电容效应 4、pn结击穿效应、击穿机制 王振——重庆邮电大学 2 §6.1 pn结及其能带图 本节内容： 1、 空间电荷区 2、 平衡pn结的能带图 3、 接触电势差 4、 pn结内载流子分布 课程重点： 平衡pn结的能带图 课程难点： 平衡pn结中载流子的分布 基本要求： 1. 理解pn结的形成原因 2. 能够说明平衡pn结中费米能级处处相等 王振——重庆邮电大学 3 3. 能画出平衡pn结载流子的分布图 一、 pn结的形成及杂质分布 pn结：将一块p 型半导体和一块n 型半导体结合在一起，交界处就 形成pn结，即：半-半接触 或者同一块半导体晶体内P型区和N型区之间的边界。 pn结实际上是一块非均匀的半导体，在§5.6-7中， 关于非均匀半导体的讨论同意具有启发性。在任何非 均匀半导体中，热平衡时必须具有统一的费米能级， 即各处费米能级在同一水平面上，对pn结来说，也是 成立的 王振——重庆邮电大学 4 • pn结是各种半导体器件的基础，了解它的工作原 理有助于更好地理解器件 • 典型制造过程： 合金法； 扩散法 1．合金法 加热溶解 （500℃） 王振——重庆邮电大学 5 N NA x x , N (x ) N j A N D x x , N (x ) N j D x x  0 j NA ND , p n ND NA , n p PN结杂质分布 用合金法制备的pn结一般为突变结(单边突变结结) ； 浅结、重掺杂（1μm ），或外延的pn结 王振——重庆邮电大学 6 2 ．扩散法 缓变结