紧凑型强流微波离子源特性研究.pdf

1111111111111111111111111111111111111111111111111111111 154 11. 加速器 紧凑型强流微波离子源特性研究 崔保群1) 蒋渭生1) 孙汉城 2) 1) 中国原子能科学研究院，北京， 102413 2) 北京深鸣远科技开发中心，北京， 102413 摘要 建立了一台紧凑型强流微波离子源，共振磁场由一个小的电磁线 圈及软铁回路产生，线圈产生的磁场可调能保证放电处于最佳条件.研究了 气压、微波功率及共振磁场对放电的影响.初步实验在 550W 的放电功率下， 从直径 4 mm 的引出孔引出了 35 mA的氢离子束( J = 280 mA/cm2) ，引出氢 离子的质子比超过 90%. 从本源中还引出了 7 mA O+, 8 mA N\12mA Ar+ 的束流。 关键词 离子源微波 微波离子源具有高电离效率、低发射度、长寿命、气耗量小等优点，对 电离时还能获得高的质子比，在加速器、离子注入机等离子束设备中获 于 H 2 [1-4] 。产生微波离子源的共振磁场一般有两种方法 得了越来越多的应用 种是利用永久磁铁及相应的铁回路来产生相应的磁场[匀，另一种采用电磁钱 圈来产生要求的磁场例。前者结构紧凑，源的重量和只寸都可以做的比较小 但磁场不可调，而且要产生精确的共振磁场也比较困难。后者磁场调节比较 方便，但通常电磁线圈占据比较大的空间。这台紧凑型强流微波离子源结合 可 以上两种结构的优点，磁场由电磁线圈和软铁回路共同产生，既可保持源紧 凑轻巧，又可以调节共振磁场，方便离子源的操作运行。 l 离子源 离子源的结构示意见图 1 。紧接着脊波导的是一段波导管组成的放电区， 其中一个直径 5.4 cm，长度为 3.3 cm 的石英玻璃筒一端由-个氧化棚薄片与 脊波导隔开，另一端与离子源的出口板相连，它们一起构成了放电室。氧化 棚薄片用来阻挡等离子体的扩散，同时可以阻挡高能二次电子对微波窗的轰 击。一个石英管将气体送进放电室内。 放电室外有一个水冷的电磁线圈，其外部有软铁组成的磁回路，两块软 铁沿脊波导形成一个磁极，软铁制成的出口板形成另一个磁极，它们组成的 回路可产生共振所需的磁场。采用电磁线圈和软铁组成的回路一方面可以减 少所要求的励磁功率，另一方面减小了离子源电磁线圈的尺寸。典型的轴向 11. 加速器 155 磁场分布示于图 2。出口板内侧对应 Omm. 软铁极头处为 35mm. 磁场在放 电空间近似为均匀场，靠近引出孔处场略小。 );ro l眩目 ~ !Dl 器~翩xl 坦面白!l 200 。 。 10 :æ J:) l BN 窗 引出电极 地电极 位置/mm 图 l 离子源结构示意图 图 2 离子源放电室磁场分布