厂务运行vs工程设计.ppt

江苏新创 * 江苏新创 * 半导体厂务运行与工程设计关联性的 一点体会 N E W 新创工程 * 江苏新创 * N E W 新创工程 客户对厂务管理工作的重要思索 如何才能有效的减少突发故障的次数，将厂务系统对生产的影响减到最小 成本领先战略下，厂务的贡献度在哪，COST DOWN 如何切入 技改项目实施时，如何有效避免重复投资以及最短时间的影响现生产 安全、环保、能源涨价因素的压力，厂务工作如何才能处变不惊 扩产时设备动力需要与动力现有系统的供应矛盾，如何才能防患于未然 根本原因寻找中，为啥总有抱怨先天不足的声音 运行策略的优化，在厂务优秀管理人才一将难求的情况下，又是如此举步维艰，是否还有其它途径 新建项目的上马似乎总是那么困难重重，前期设计方案是否真的符合预期,基于厂务大系统技术能否突破传统思维服务于工程实践或优化运行 满足客户的事实需要是努力方向 IC FAB /厂务供应系统 酸/碱 化学品 供应站 有机溶剂 供应站 清洁用 真空 废气处理 Acid Scrubber Solvent VOC 空调 设施 UPW DI 回收 软 水 装 置 自來水 儲存槽 (20000m3) 设备冷却水 供应系统 低压配电室 特殊气体站 CDA 酸废水站 含氟废水站 有机溶剂 收集槽 维修区/制造支持区 洁净室 (IC 制造设备) CIM + 晶片自动停送 洁净室 (IC 制造设备) 液态氮 液氧 液氩 氦气 氢气 补 充 空 气 热 水︵蒸气︶ 废气 冰 水 RO pcw 酸/碱 H2SO4 回收 有机溶剂 IPA 再生系统 废 溶 剂 光阻剂 废HF 清 洗 用 水 接地系统 大地 污水处理厂 回收公司 供 应 商 气体供应商 氮气供货商 电力公司 市水 回收公司 浓缩污泥 供 应 商 供 应 商 溫水 卫生排水 设备用 真空 柴油 储槽 供应商 TFMS/TFPS Fire Detection Protection 飲用水 DI 高压配电室 电力供应站 EG + DUPS 磷 酸 回 收 FAC Monitor Control POU Monitor Control 外气 外气 外气 外气 外气 水蒸汽 确保 酸碱 废水 酸鹼 廢水 DI 再生 废水 HF 再生系统 酸碱 废水 N E W 新创工程 * 江苏新创 * N E W 新创工程 * 江苏新创 * N E W 新创工程 净化空调系统 新风机预热输入源蒸汽VS热水VS冷水 冬季冷却水替代冷冻水/夏季冷却水代用热水的考虑 新风机（无除湿工况）表冷器输入源调整为热水，延长冷却水代用热水的时间/防冻/热交换站输送温度及压力的调整 空调机配管阀组的合理设置，便于操作有利于运行实际中必要的人工干预 干盘管冷水系统的选择(混流VS热交换，并联VS串联） 吊顶自循环风机阀组托盘的设置，解决排污管路与冷凝水管路合流的隐患 * 江苏新创 * N E W 新创工程 净化空调系统 蒸汽末端应有吹扫管路直通室外，主要考虑调试运行及维护后送气 排风变频/双风机的必要性以及有机排风管排液管设置 二次配排风负压表设置 空调冷凝水，蒸汽疏水回用于纯水制备原水 合理布置机房,在布置机房设备时，既要考虑冷凝器、蒸发器、表冷器的检修空间，又要考虑主机操作人员能观察到仪表的变化 空调机组的断面风速适宜,空调机组现在多采用组合式空调机组，为了节约初期投资和机组占地面机，往往选用大风量机组，以及尽可能减小空调机组外形尺寸，从而增加了空调机组的断面风速，这样各级过滤器阻力上升快，而且挡水板的挡水效果不佳，空调机组容易积水。一般机组的断面风速不宜超过2.5m/s。 设在屋顶的冷却塔宜设风机检修控制开关,考虑检修安全因素 发热量差别较大的房间不宜并入一个空调系统(如清洗/扩散),但也有并入的节能做法 * 江苏新创 * N E W 新创工程 * 江苏新创 * N E W 新创工程 净化空调系统 洁净室的气流速度／换气次数的确定 洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物 末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。 当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室，采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。 * 江苏新创 * N E W 新创工程 冷冻系统 冷冻机的合理布置，务必考虑夏季高峰有一台备机，单机冷量的选择需