相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用.pdf

第2 3卷 　第1期 计 　　　量 　　　学 　　　报 Vol . 23 , №1 2002 年 1 月 　 ACTA 　METROLOGICA 　SINICA 　 J an . , 2002 文章编号 (2002) 相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用 王权陡 , 　余景池 , 　张忠玉 , 　张学军 ( 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室 , 长春 130022) 摘要 : 应用相移干涉及 Zernike 多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可 达到 0013″。与采用自准直仪 、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较 ,测量精度有较大幅度的提 高 。与测长设备光栅尺结合使用 ,可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度 。 关键词 : 　相移干涉 ; Zernike 多项