柔性基体上压电薄膜的屈曲变形分析.pdfVIP

摘要 摘要 附于弹性软基体上的压电薄膜(如PZT等)在基体释放的预应变或受到薄 膜内力的作用下会发生失稳屈曲。利用这一特性，压电薄膜附于弹性软基体的 结构可广泛应用于智能系统，如柔性电子器件、微纳米机电系统和一些先进的 医疗工程技术等。因此，研究附于弹性软基体上的压电薄膜屈曲变形行为具有 重大的现实意义。 本文应用广义势能的变分原理，推导得到了压电薄膜和压电薄膜／弹性软基 体层合结构的力．电耦合控制方程及边界条件。利用扰动理论和静力平衡法，研 究了附于弹性软基体上的压电薄膜的局部屈曲行为，并考察了压电效应、基体 和薄膜厚度比、基体和薄膜弹性系数比、基体和支座的边界条件等参数对屈曲 行为的影响。利用最小电焓(能量)原理，推导得到了压电薄膜／弹性软基体层合 结构整体屈曲所需的临界应变值，并研究了局部屈曲和整体屈曲的转化关系及 临界条件。最后，利用最小电焓(能量)原理，推导得到了附于弹性软基体上的 压电薄膜连接器屈曲所需的临界应变值，并给出了防止压电薄膜强度破坏的基 体预应变的取值范围。 结果显示：压电效应可以增加系统刚性，提高系统的稳定性；基体和薄膜 厚度比、基体和薄膜弹性系数比