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1.6.1.5 采用新工艺加工技术 半导体技术中的加工方法如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐蚀以及蒸镜、溅射薄膜工艺都可引进用于传感器制造,因而产生了各式各样新型传感器。 1.6.2 测试方法的发展1.6.2.1 非接触法测试 由于传感器和数据处理技术的进步和计算机的应用,非接触法测试近年来发展很快,光(可见光、红外、紫外、激光等)电结合,超声、微波、射线等测试技术进一步推广运用,实现了无干扰测试或对无法接触的对象的测试。 1.6.2.2 主动测试法 主动测试法有目的向被测对象施加某种激励,而测试其产生的响应。 这种方法不但克服了被动法的许多局限,而且大大提高了测试精度。 1.6.2.3 采用非电量测试技术 测试中,一般总是将被测非电量通过传感器转换成电量,然后进行传输和处理。这种非电量电测法虽有许多优点,但电量的对外干扰、受外界干扰、保密性等方面均不如某些非电量(如光)。 随着光纤、光放大器、光滤波器以及某些功能材料的高选择性、特殊膜的渗透性等的发现,在有些测试上直接利用非电量测试有着独特的优点。 1.6.2.4 测试方法的综合运用技术 一次同时测量被测对象的复合响应有利于综合反映被测对象的总体特性。 如对温度、湿度、压力、气体成份等的组合测量,几种测试方法发挥各自的特长联合运用,解决某些复杂测试问题。如色谱——红外、色谱——质谱等的同时测量问题。 1.6.3 以计算机为中心的各种测试系统的发展 1.6.3.1 测试系统性能的优质化 随着科学技术的发展的需要,低噪音、高稳定度、高输入阻抗、高频响、宽频带、高保真度的电子器件将不断出现、指标不断将刷新、价格不断将下降。使测试系统的各项性能尤其是工作可靠性大大提高。 1.6.3.2 集成化 集成电路不仅体积小、功耗小,而且引线短、整个组件处于同样工作环境下,抗干扰性能好,易于达到较高精度、较高频响。 仪器电路的集成化发展主要有两个方面,一是集成块的密集度将越来越高,二是采用集成块的范围越来越宽广。 1.6.3.3 数字化 数字式电路不仅读数方便、客观、量程大,能较好地解决量程与分辨率的矛盾,而且易于集成化,抗干扰能力强,便于动态采样,便于记忆保存,便于与计算机联用。 因为客观存在的被测量多数是模拟的,数字电路不可能完全代替摸拟电路。 1.6.3.4 通用化 通用化主要有三个方面的含义: 首先是单元电路的通用化,这给电路调试、电路集成化都带来方便; 其次是整个仪器的构成采用电路模块化、积木化。这种模块组合方式即有利于专业化生产、提高质量、降低成本。从使用角度来说,基本功能仪器可视需要组合、互相借用,提高使用效率; 再次是利于推广通用仪器。 1.6.3.5 自动化与智能化 计算机的使用是现代测试系统的主要特征,测试系统可以灵活地按照人们编定的程序自动完成测量操作,采集测量数据,自动进行调节和校正。 智能化的测试系统有逻辑判断和运算功能,可以自动选择量程、进行数据处理、自动诊断故障甚至自动修复。 1.6.3.6 测试系统硬件的软件化 由于计算机的性能价格比越来越好,测试系统中的硬件常常为软件所代替,硬件软件化具有灵活、经济的特点,但有时使速度受到限制。 现代化的自动测试系统,没有软件是不能发挥作用的,可以说有时软件的性能决定了自动测试系统的性能。而且软件在整个测试系统中所占的成本比例也越来越高。 1.7 课程的研究对象和性质 本课程是为机械类非测试技术专业研究生开设的专业基础课。 是在本科阶段学完《现代测试技术基础》课程的基础上,进一步培养研究生合理地设计和选用测试装置并掌握进行动态测试所需的基本知识和技能,为研究生进一步转入论文阶段打下基础。 本课程的基本内容 (1)对一个具体的测试对象和待测信息,选择、设计适宜的测试系统。 (2)使用正确的动态测试方法,确定准确的动态测试数据处理及误差补偿理论。 (3)保证测试结果真实地再现被测信息。 本课程是一门理论和实践结合非常紧密的课程,具有很强的实践性。只有在学习中密切联系实际,加强实验锻炼,才能真正掌握有关理论。 学完本课程后应具有的知识 (1) 掌握信号的时域和频域的描述方法,建立明确的信号频谱结构的概念,掌握频谱分析和相关分析的基本原理和方法,掌握数字信号分析中的一些基本概念。 (2) 掌握测试系统基本特性的评价方法和不失真测试条件,并能正确地运用于测试系统的分析和选择。掌握一阶、二阶线性系统动态特性、复杂测试系统动态特性的分析和标定方法。 (3) 掌握动态测试的基本方法,并能运用于机械系统的动态测试。 对于测试系统的分析,人们关心的是系统的输出(测得的信号)与系统的输入 (被测信
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