GB/T 18867-2014电子工业用气体　六氟化硫.pdf

ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国彖标准 GB/T 18867—2014 代着 GB/T 18867—2002 电子工业用气体六氟化硫 Gases for electronic industry —Sulphur hexaflouride 2014-12-22 发布 2015-07-01 实施 GB/T 18867—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准代替GB/T 18867—2002 《电子工业用气体 六氟化硫》 。与GB/T 18867—2002相比，除编 辑性修改外主要技术变化如下： ——修改了范围 （见第1章,2002年版的第1章）； ——修改了规范性引用文件 （见第2章,2002年版的第2章）； ——修改了技术指标 （见第3章,2002年版的第3章）； ——修改了抽样、判定和复验 （见4.1, 2002年版的第5章）； ——修改了氧+氮、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法（见4.3,2002年版的4.2 、4.3）； ——删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法（见2002年版的4.4 ）； ——增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法（见4.3）； ——修改了水分含量的测定方法 （见4.4,2002年版的4.5）； ——修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章,2002年版的第6章）。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。 本标准起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高 精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司 、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究 设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司 、核T业理化T程研究院华核新技 术开发公司。 本标准主要起草人:黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李哓明、 曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 18867—2002o T GB/T 18867—2014 电子工业用气体六氟化硫 1范围 本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学 气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。 分子式：SFg 。 相对分子质量；146.0564192（ 2007年国际相对原子质量计算）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723 T业用化学产品采样安全通则 GB 5099钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1气体湿度的测定 第1部分：电解法 GB/T