创新基于LSPR加热原理的新型光谱探测技术的研究.ppt

基于LSPR加热原理的新型光谱探测技术的研究 1.研究背景 光电探测 光电探测 光电效应 光热效应 热释电效应：介质的极化强度随温度变化，引起电荷变化 辐射热计效应：入射光使材料受热造成电阻率变化 光电效应 热敏电阻 热释电传感 1.研究背景 紫外指纹成像 红外成像边防应用 红外热像仪军事应用 光谱探测技术 利用目标的光谱反射或发射信息的差异，借助光谱探测器对特定波段的光辐射响应，实现对目标的探测和识别 2.存在问题 紫外成像 可见光成像 组合成像 光电探测 光电效应：具有截止响应频率 光热效应：对频率没有选择性 多带探测 工作在特定的波段窗口 不同直径Au纳米球的吸收光谱曲线以及峰值吸收波长随直径的变化规律 3.解决方案 局域表面等离子体共振(LSPR：localized Surface Plasmon Resonance) + + + _ _ _ + + + _ _ _ 形状、尺寸、环境介质等因素 3.解决方案 VOx材料的热敏电阻特性 硅基底上氧化钒薄膜电阻-温度变化曲线 微测辐射热计探测器基本像元结构 4.研究内容 仿真模拟 纳测辐射热探测器基本像元结构 （单线，可拓展） 4.研究内容 器件制作及测试 a-f采用化学方法合成的胶体纳米金颗粒 g采用电子束曝光技术制作的金纳结构图形 5.创新点 提出基于LSPR光热原理的热探测器新概念，实现波长选择与热敏感探测的分离，有利于独立优化 提出通过对等离子体材料和结构参数的选择调节谐振波长，实现在紫外-可见-红外的宽波段内任意波长探测的光谱探测器结构 * 光电探测器的物理效应通常分为光子效应和光热效应，对应的探测器分别称为光子型探测器和热型探测器。各种光子型探测器的共同特征是光子能量对探测材料中光电子的产生起直接作用，故光子型探测器具有截止响应频率或波长，如硅探测器的长波截止波长为1.1微米，故只能用于探测可见光和近红外光。而热型探测器吸收辐射能量后，并不直接引起内部电子状态的改变，而是把吸收的光能变为晶格的热运动能量，引起探测元件温度上升，从而引起探测元件的电学性质或其他物理性质发生变化，故光热效应与光子能量的大小没有直接关系，故热型探测器原则上对频率没有选择性，但是由于红外波段的光热效应相比可见光更明显，故通常用于红外辐射的探测。由于温度升高是热积累的作用，故基于光热效应的热探测器一般响应速度慢，且易于受环境温度影响。典型的热型探测器包括微测辐射热计型和热释电探测器型等。 * 光谱探测技术是利用物体或目标的光谱反射或发射信息的差异，借助光谱探测器对特定波段的光辐射响应，以实现对目标或物体的更好探测和快速识别的技术。光谱探测在多个光辐射波段均有广泛应用。如可见／近红外波段是太阳反射光谱区，在该波段探测地表物体的反射可以获取土壤类型、水体特性、植被分布及军事装备、军队部署等信息；中波红外波段可用于探测飞机尾喷气流、爆炸气体等高温物体的辐射光谱特征；长波红外波段则是实现昼夜战场侦查、监视，识别伪目标、消除背景干扰的主要工作波段，并且也是多种化学物质的特征吸收光谱所在区（或指纹区），可用于大量的极性气体分子、有机化合物和生化战剂的探测。另外，紫外波段也是重要的军民两用波段，可用于燃烧、电晕、火焰探测等民用领域以及紫外制导和紫外预警等军用领域。 * 上述的两类光电探测器通常都工作在一定的波段窗口，如紫外、可见光/近红外、中波红外(3~5μm)或长波红外(8~14μm)波段，但作为光谱探测器使用，还需要结合分光部件或滤波技术选择特定的波长来实现光谱探测。若用于多带探测，则需要几种探测器联合使用，少有能同时跨越多个波段的单一探测器。如此造成现有的多光谱或多带探测系统一般体积庞大且成本高。因此市场上急需结构简单、体积小巧且成本低廉的光谱探测器。 * 本项目提出一种新型的光谱探测原理及基于此原理的光谱探测器结构。新原理是基于导电纳结构的局域表面等离子体共振发热以及纳测辐射热探测元件的结合，构成对共振波长的高灵敏高速非致冷探测；通过选取合适导电材料、导电纳结构形状和尺寸以及覆盖介质，不仅可以调节不同的响应波段，而且在不同波段中实现多光谱响应的调节，因而可以实现在某波段内的多光谱探测，还可以实现多波段组合成宽波段的探测，突破传统热探测器只能探测红外波段的局限。项目的研究将为今后多光谱成像探测器和宽波段成像探测器的发展奠定基础。 * 本项目提出一种新型的光谱探测原理及基于此原理的光谱探测器结构。新原理是基于导电纳结构的局域表面等离子体共振发热以及纳测辐射热探测元件的结合，构成对共振波长的高灵敏高速非致冷探测；通过选取合适导电材料、导电纳结构形状和尺寸以及覆盖介质，不仅可以调节不同的响应波段，而且在不同波段中实现多光谱响应的调节，因而可以实现在某波段内的多光谱探