GB/T 31058-2014电子工业用气体　四氟化硅.pdf

ICS 71.100.20 G 86 OB 中华人 民共和 国 国彖标准 GB/T 31058—2014 电子工业用气体 四氟化硅 Gases for electronic industry —Silicon tetrafluoride 2014-12-22 发布 2015-07-01 实施 GB/T 31058—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本标准起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 、佛山市华特气体有限公司 、绿菱电 子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化T研究设计院有限公司。 本标准主要起草人:邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云。 T GB/T 31058—2014 电子工业用气体四氟化硅 1范围 本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。 本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅 。它主要用作 电子丁业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯 石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。 分子式:SiF4。 相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723 丁业用化学产品采样安全通则 GB 5099钢质无缝气瓶 GB 7144气瓶颜色标志 GB 14194永久气体充装规定 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB 16804气瓶警示标签 GB/T 26571特种气体储存期规范 GB/T 28726—2012气体分析氮离子化气相色谱法 GB/T 28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法 气瓶安全监察规程 （2000版） 危险化学品安全管理条例 （2002版） 持种设备安全监察条例（2009版） 3技术要求 四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。 表 1技术指标 项 目 指 标 四氟化硅纯度（体积分数）/10-' 99.99 99.999 氢 （HQ含量 （体积分数）/1（厂” < 2 1 （氧+M）（O2+Ar）含量 （