GB/T 30652-2014硅外延用三氯氢硅.pdf

ICS 29.045 H 83 OB 中华人 民共和 国 国彖标准 GB/T 30652—2014 硅外延用三氯氢硅 Trichlorosilane for silicon epitaxial 2014-12-31 发布 2015-09-01 实施 GB/T 30652—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。 本标准起草单位 ：中错科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中错科技股份有限公司。 本标准主要起草人:柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙。 T GB/T 30652—2014 硅外延用三氯氢硅 1范围 本标准规定了硅外延用三氯氢硅 （SiHClQ的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、 质量证明书以及订货单 （或合同）内容。 本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 191包装储运图示标志 GB 16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序 GB 28654 工业三氯氢硅 GB/T 29056硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼 、铝、磷、锐、珞、猛、铁、钻、鎳、铜、铝、神和彿量 的测定电感耦合等离子体质谱法 YS/T 987氯硅烷中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定 国务院令第591号 危险化学品安全管理条例 3要求 3.1外观 产品应为无色透明液体。 3.2化学成分 3.2.1产品的化学成分应符合表1的规定。 表 1化学成分 ％ SiHCh 其他氯硅烷 杂质含量/（X10-7）,不大于 不小于 不大于 Fe Cr Ni Al Mo As Sb P Mn B Cu Co V c 99.95 0.05 5 1.5 1 1 1 0.5 0.5 0.3 0.2 0.1 0.05 0.02 0.01 5 000 注 ：硅外延用二氯氢硅的含量为100%减去表中其他氯硅烷和杂质实测总和的余量。 3.3其他 需方如对硅外延用三氯氢硅有其他要求时，由供需双方商定。