GB/T 36066-2018洁净室及相关受控环境　检测技术分析与应用.pdf

ICS 13.040.35 C 70 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 36066—2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 Cleanrooms and associated controlled environments — Analysis and application of test technology 2018-03-15 发 2018-07-01 实施 发 GB/T 36066—2018 目 次 .-a.Z-A T 冃U有 I 1范围1 2规范性引用文件1 3 术语和定义1 4检测项目与相关应用领域 2 5 检测技术要求 3 6 检测仪器配置4 7检测工况分析7 附录A （资料性附录 ）压差的调试和测试 9 附录E （资料性附录 ）自净检测 10 附录C （资料性附录 ）已装过滤系统检漏11 参考文献 15 GB/T 36066—2018 ■ r ■ —— 刖 弓 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口。 本标准起草单位：中电投丁程研究检测评定中心、苏州市计量测试研究所、深圳市亿天净化技术有 限公司、中天道成(苏州)洁净技术有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、苏州净化工程安装有限 公司、苏州市华宇净化设备有限公司、苏州丁业园区嘉合环境技术丁-程有限公司 、中国标准化协会、北京 世源希达T程技术有限公司、北京希达建设监理有限责任公司、上海德威净化设备工程有限公司、深圳 新科特种装饰T程公司、中国电子学会洁净技术分会。 标准主要起草人:王尧、张利群、陈霖新、张俊峰、杨子强、蒋乃军、夏群艳、姜皓遐、张敏、高正、徐火炬、 石小雷、苏钢民、王鸿明、王大千、殷晓冬、谭军、王样、杨新宇。 T GB/T 36066—2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 1范围 本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。 本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 25915.1-2010洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 单向流 unidirectional a