原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
7 4 Vol.7, No.4
1999 8 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERING August, 1999
1004924X( 1999) 04 0076 05
*
梁静秋 姚劲松
( 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 130022)
: , ,
5mm
, 20 860r/ min, 10Nm,
, ,
TM384 A
1
,
,
,
,
, ,
, ,
,
,
* B
: 1999 05 20
: 1999 06 11
4 : 77
, ,
, , ;
, :
2
1 2,
,
, ,
,
,
, ,
Fig. 1 The electromagnet principle of the topfacesw ay Fig. 2 The fabrication of the topfacesway micro
micro electromagnet driver electromagnet driver
, : ,
,
:
( 1) ,
, ,
( 2) ,
( 3)
MEMS , ,
7
78
; ,
, , ,
, , ,
, ( + ) ,
, ,
,
, ,
, : ,
,
3
,
,
,
, , ,
3. 1
, :
, ,
,
, ,
, ,
3. 2
,
, ,
,
, : IC LIGA
IC ,
, ; LIGA
, , ;
, ,
,
,
4 : 79
3 5mm ,
,
Fig 3 The outlook of the prototype of the machine Fig 4 The frequency characterist ic of the motor
3. 3
3 5mm 20860r/ min
4 ,
; ,
, , 10Nm
4
,
( )
1 Ahn Cho
文档评论（0）