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硅基犘犣犜压电功能结构-光学精密工程.pdfVIP

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  • 2019-07-05 发布于天津
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硅基犘犣犜压电功能结构-光学精密工程.pdf

    第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ３ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．３ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ３ Ｍａｒ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０３０５８３０６ 　

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