GB/T 36969-2018纳米技术　原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法.pdf

ICS17.040.20 J04 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT36969 2018 纳米技术 原子力显微术测定 纳米薄膜厚度的方法 — Nanotechnolo Methodforthemeasurementofthenanofilm-thicknessb gy y atomicforcemicrosco py 2018-12-28发布 2018-12-28实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT36969 2018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 原理 ……………………………………………………………………………………………………… 1 5 测试条件 ………………………………………………………………………………………………… 2 5.1 环境条件 …………………………………………………………………………………………… 2 5.2 操作条件 …………………………………………………………………………………………… 2 6 设备 ……………………………………………………………………………………………………… 2 6.1 原子力显微镜 ……………………………………………………………………………………… 2 6.2 探针的选择 ………………………………………………………………………………………… 2 6.3 仪器的校准 ………………………………………………………………………………………… 2 7 样品 ……………………………………………………………………………………………………… 2 7.1 样品的制备 ………………………………………………………………………………………… 2 7.2 样品的清洗 ………………………………………………………………………………………… 2 8 测试步骤 ………………………………………………………………………………………………… 2 8.1 采集图像数据前的准备 …………………………………………………………………………… 2 8.2 图像数据的采集 …………………………………………………………………………………… 2 9 数据处理与计算 ………………………………………………………………………………………… 3 10 重复性和再现性………………………………………………………………………………………… 4 11 测试报告………………………………………………………………………………………………… 4 ( ) ………………………………………………………………… 附录 资料性附录 薄膜台阶的制备 A