Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的制备与阻变特性分析.pdfVIP

摘 要 锆钛酸铅（Pb (ZrTi )O ，0x1）是传统的铁电材料之一。由于其独特的铁电、 x 1-x 3 热电以及压电等性能，基于铁电薄膜的器件一直受到人们的密切关注。通过改变锆钛配 比或者掺杂外来元素，能极大的改变其晶体结构从而影响其电学性能。其薄膜材料制备 的器件在小型电子设备传感器、微机电系统（MEMS）以及非易失性存储器（NVM）方面 也备受宠爱。这也是许多年来人们依旧在研究它的重要原因。PZT 有钙钛矿材料共有的 ABO 结构，由于不同种类的离子所受的电性束缚不同，受束缚较弱的离子在外加电场作 3 用下会产生定向极化，这种结构的材料一般都有较强的铁电性。本文以PZT 靶材以及薄 膜的制备和特性研究为目的，分别探究了利用导电衬底的 PZT/NSTO 结构和利用不导电 衬底并插入导电缓冲层的PZT/SRO/STO 结构。 主要的步骤如下： 一、 采用固体反应法，制备了锆钛比为52：48 的PZT 靶材。因为经过调研发现 在室温下，x = 0.52 附近是三角-四方相界，这是一条准同型相界，该相界附近的区域 内，材料的结构属于铁电四方相和铁电三方相的过渡区，一般是两相共存的，在这个区 域内，铁电体的晶