Si(110)衬底上镍硅化物形成分析.pdfVIP

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  • 2019-06-20 发布于安徽
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A b stra C t A s C M O S IC f a b r ie a t io n t e e h n o lo g y e o n t in u o u s ly P r o g r e s s e s t o w a r d n a n o nodes. Th e se lf一a ligned s iliC ide (SA L IC 工D E) mater ia l and teehno logy a 1So r e q u ir e e o r r e sP o n d in g in n o v 巳t io n s . R e e e n t s tu d ie s s h ow t h a t N ic k e l m on o一5 111e 1de (N IS i) ha s low er r es ist iv ity ,sm a ller s ilieon eon sum p t ion a n d low e r f o r m in g t em p e r a tu r e . 5 0 a f

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