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第八章 真空镀膜机设计The Design of Vacuum Coating Equipments 8.1真空设备设计原则 ⑴先功能，后结构。先给出指标参数、生产要求、功能 ⑵先核心，后辅助。由内向外。先决定 靶尺寸、靶基距 ⑶先局部，后整体。再由整体，定局部。 ⑷先设计，后校核。由粗到细。 镀膜机常用技术指标 镀膜方法：CVD，PVD（蒸发、溅射、离子镀、复合镀） 被镀工件的形状、尺寸；工件架尺寸；真空室尺寸； 生产方式：连续、半连续、周期式。生产周期。生产量。生产速率。 技术参数：设备极限真空度、工作本底真空度、工作真空度、工作气氛； 漏率、抽空时间、恢复真空时间。 工作（烘烤）温度；（热处理炉、冻干机） 膜厚不均匀程度； 功率；最高电压； 8.2真空镀膜机的分类  ——按作业方式划分 （1）间歇式（周期式） 特点：一个真空室。如钟罩式、盒式的蒸发、溅射镀膜机。 一个周期内的工序：装料、抽空、镀膜、放气、出炉。 （2）半连续式（节拍式） 特点：常常有2个或2个以上真空室，双室有不同的真空度。 节拍式作业。如大卷绕半连续蒸发镀膜机、枚叶式节拍溅射镀膜机。 （3）连续式 特点：有多个真空室，分别完成不同的功能，保持真空度不变。 基片（工件）依次从一端进入，从另一端输出。 真空镀膜机的构成 真空室与机架 源—基系统（蒸发源、溅射靶+工件架） 真空系统 供电系统 测量与控制系统 水冷系统 充气系统 其它辅助系统 8.3真空室与机架 ------- 1结构布置 立式——中轴线垂直，高度尺寸大 卧式——中轴线水平，长度尺寸大。 又分 立卧（高度尺寸第二大） 平卧（高度尺寸最小） 8.3真空室与机架 ------- 2外形 钟罩式 （垂直提升，有机架、台面） 扁箱式 （平板形基片）如 立卧或平卧、周期或连续式、平板玻璃镀膜机 方箱式 前开门 圆筒式 前开门，蚌壳炉（门大，可装大工件）。 盒式 长方形 圆形 上揭盖（垂直提升，有机架、台面） 球形 适于化学气相合成，可接许多接口（分析仪器），并都对准中心 8.3真空室与机架 -------3功能作用与要求 形成并保持真空环境； 耐压要求、漏率要求、耐温要求 摆放、布置内外各个系统；提供安装位置、接口、并要便于作业功能作用与要求 8.3真空室与机架 ------- 4构成与附件 室体——壁厚考虑强度，水冷考虑温度（盘管 式、间壁式），焊接考虑工艺 法兰——门与接口的法兰，要符合标准，接管 的加工工艺 门——强度问题、大法兰平整问题、密封问题（钟罩式、开门式）、门拉手、门锁 门轴支撑结构（钟罩悬挂、开启式、简单与复杂门轴、弯臂式、双自由度或平动） 8.3真空室与机架 ------- 4构成与附件 底板——支撑整个真空室和工件，厚，开许多接口，底板布置 观察窗——基本要求：看得清； 内部照明：借助烘烤灯、辉光、弧光，专用灯。 保持真空、橡胶密封低真空普通窗、金属密封超高真空石英窗。 特殊要求：防污染。防污染措施：转动式或百叶窗式挡板、卷膜、双层玻璃。 8.3真空室与机架 ------- 4构成与附件 动密封——用途：工件转架、、工件传送、各种挡板、转靶、机械手（拨叉、送料杆） 橡胶圈、皮碗密封（不能用润滑液，低速蠕动）， 波纹管及胶片密封，磁耦合传动，磁流体密封 辐射与屏蔽屏—— 支撑与绝缘件—— 8.4工件架 -------1 功能作用与要求 多装料 装卡要求 利于膜厚分布 满足对基片的要求（加偏压、加热 冷却） 8.4工件架 ------- 2 结构形式 与真空室形式及源靶布置方式相匹配 包括静止工件架、基片转架和多自由度工件架 静止镀镜 杆式工件架，小车式 三球面行星轮系（钟罩式室体、小平面蒸发源、上拨动） 8.4工件架 ------- 2 结构形式 公转与自转-行星杆系（立式前开门体、中心圆柱靶或两侧平面靶或多弧） 蒸发（或溅射）用多自由度旋转平台 （盒式室体、多功能实验设备，可调3维位置和角度） 筒形工件架 2种（多弧镀钻头） （堆积滚动、镀膜电阻， 小元件表面） 大卷绕系统 （半连续） 连续镀膜送件平台（卧式胶辊，立式槽轮，带小车）  挂 夹 卡 粘 插 电弧离子镀镀钻头的多种装法