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一维氧化锌纳米材料传感性能研究 【摘要】：本论文利用石英晶体微天平为传感器结构，研究了一维氧化锌纳米材料的敏感性能，主要研究工作如下：1．本文研究了一维氧化锌纳米材料的制备和表征。一维氧化锌纳米材料是利用900摄氏度下热蒸发锌(99.999％)制备而成，并在室温下滴定到石英晶体微天平进行表征，表征采用SEM(扫描电镜)和XRD(X射线衍射)。本文也研究了掺杂钯的一维氧化锌纳米材料的制备和表征。掺杂钯是利用传统的溶液混合方法进行。掺杂后的材料利用滴定的方法涂覆到石英晶体微天平上，表征采用SEM(扫描电镜)和XRD(X射线衍射)。2．本文研究了一维氧化锌纳米材料的湿度敏感性能。利用基于石英晶振微天平(QCM)结构的湿度传感器，研究一维结构的氧化锌材料的湿敏性能，主要从灵敏度，稳定性，可重复性等方面来研究传感器在不同湿度情况下的性能。实验结果表明，氧化锌一维结构湿度传感器在相对湿度(RH)30％到80％之间具有很好的灵敏性，而且可重复性能好，证明了一维氧化锌纳米材料是一种很有前途的湿敏材料。3．本文利用掺杂重金属钯的方法改进一维氧化锌纳米材料的湿敏性能。实验证明掺杂钯后，传感器的灵敏度提高，达到74.24234Hz／％RH；传感器线性度明显提高，使用线性回归的结果表明，其线性度为-0.98834。掺杂钯的传感器还表现出很好的重复性和响应速度。钯的掺杂提高了检测的线性范围，从30％-80％提高到20％-95％。4．本文研究了一维氧化锌纳米结构的气敏性能。实验证明一维氧化锌纳米结构对氨气具有很好的敏感性能。传感器的响应与氧化锌薄膜的厚度有关。传感器在氨气在40-1000ppm的情况下具有高的敏感性，而且响应时间在5秒左右。传感器还具有稳定性好，重复性好的特点。5．本文研究了掺杂重金属钯的一维氧化锌纳米材料的氨气敏感性能。传感器在氨气在30-1000ppm的情况下具有高的敏感性，响应时间在2秒左右。传感器还具有稳定性好，重复性好的特点。【关键词】：石英晶体微天平一维氧化锌纳米材料氧化锌纳米线氧化锌纳米四角结构湿度传感器相对湿度氨气传感器钯掺杂生物传感器尿酸尿酸氧化酶固定无线传感器网络节点 【学位授予单位】：华东师范大学 【学位级别】：博士 【学位授予年份】：2006 【分类号】：TB383.1 【目录】：第一章绪论13-241.1引言131.2全球传感器技术发展热点13-211.2.1纳米技术13-161.2.2新型传感器的研制16-171.2.3生物传感器17-191.2.4无线传感器网络19-211.3本论文的工作21-22参考文献22-24第二章石英晶体微天平传感器研究概述24-352.1QCM基本原理与传感理论24-292.1.1基本原理24-262.1.2传感理论26-292.2QCM传感器的结构29-302.3应用30-32参考文献32-35第三章一维氧化锌纳米材料的制备和表征35-493.1引言35-383.2一维氧化锌材料的制备383.3一维纳米氧化锌材料的表征38-423.3.1衬底的清洗38-393.3.2一维氧化锌纳米材料薄膜的形成39-403.3.3一维氧化锌纳米材料的表征结果40-423.4一维氧化锌纳米材料的掺杂42-473.4.1掺杂工艺及其成膜过程42-453.4.2掺杂钯的一维氧化锌纳米材料的表征45-47参考文献47-49第四章一维氧化锌纳米材料湿敏性能研究49-734.1引言49-534.1.1湿度及其表示方法49-504.1.2湿度传感器50-534.2一维纳米氧化锌材料的湿敏性能53-644.2.1背景介绍53-544.2.2实验54-574.2.3结果与讨论57-644.2.3结论644.3掺杂钯的一维氧化锌纳米材料湿敏性能研究64-704.3.1背景介绍64-654.3.2实验654.3.3结果和讨论65-70参考文献70-73第五章一维氧化锌纳米材料气敏性能研究73-965.1引言73-775.1.1氨气检测的方法及原理73-765.1.2本论文的工作76-775.2一维氧化锌纳米材料氨气性能研究77-875.2.1背景介绍775.2.2实验77-805.2.3结果和讨论80-875.3掺杂钯的一维氧化锌纳米材料氨气敏感性能研究87-935.3.1背景介绍875.3.2实验87-885.3.3结果和讨论88-935.3.4结论93参考文献93-96第六章一维氧化锌纳米材料尿酸氧化酶固定效率及其尿酸检测研究96-1166.1引言96-1006.1.1酶法96-976.1.2尿酸传感器检测法97-986.1.3伏安法98-996.1.4高效液相色谱法99-1006.2石英晶振微天平检测法100-1016.3实验101-1036.3.1检测装置101-1026.3.2试剂1026.3.3氧化锌纳