电浆辅助化学气相沉积.ppt

陶瓷與薄膜製程 陶瓷粉末合成的方法 固相反應法 傳統氧化物法、反應燒結法 溶液法 共沉法、水解法、水熱合成法、溶膠凝膠法 氣相反應法 火焰燃燒法、爐內反應法、電漿合成法 固相反應合成法 固相反應通常是由 許多種固相共同參予反 應生成另一新固相的階 段反應過程，故通常是 以適當的化學劑量混合 含有各組成元素的氧化 物或碳酸鹽等粉末之 後，在高溫進行分解與 反應。 共沉法 共沉法是一種將反應液中的離子進行沈澱的方法， 殘留在溶液中濃度可用溶度積來計算。通常以共沉製備 微粒子之反應物系，成品之溶度積皆很小，化學反應都 在高過飽和度下進行，生成無定晶形（amorphous）的含 水化合物。所得一次粒子之粒徑小，但凝結度高，且組 成控制不易，其粒子結構，表面電性與溶液中之pH值有 密切關聯，必須再經鍛燒、粉碎及研磨過程才能得到具 有確定結構、組成及物理特性之結晶態粉末。 化學還原法 化學還原法一般可用於二價過渡金屬（Fe, Co ,Ni）超微粒合金的製備。製備時是以還原 劑來還原溶液中的金屬離子，可用的還原劑很 多，如次磷酸鈉（NaH2PO2）、硼氫化鉀 （KBH4）、硼氫化鈉（NaBH4）等。由於其影響 製程的變因甚多，但製備不需要在高溫高壓下進 行，故可藉控制改變這些變因而得到不同性質的 超微粒。 水熱合成法 優點： 具有完美