GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法.pdf

犐犆犛２９．０４５ 犎 ８０ 　 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜１５５８ ２００９ 代替 ／ — ＧＢＴ １５５８ １９９７ 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狊狌犫狊狋犻狋狌狋犻狅狀犪犾犪狋狅犿犻犮犮犪狉犫狅狀犮狅狀犮犲狀狋狅犳 狊犻犾犻犮狅狀犫 犻狀犳狉犪狉犲犱犪犫狊狅狉狋犻狅狀 狔 狆 ２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１５５８ ２００９ 前 言 　　 本标准修改采用 ＳＥＭＩＭＦ１３９１０７０４《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。 　　 本标准与 ＳＥＭＩＭＦ１３９１０７０４的主要差异如下： ———本标准在结构上主要依照我国国标编制格式，与 ＳＥＭＩＭＦ１３９１０７０４有所不同； ———本标准未引用“偏差”、“关键词”两章内容。 本标准代替 ／ — 《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。 ＧＢＴ１５５８ １９９７ 本标准与原标准相比主要有以下变化： ———对测量的碳原子含量有效范围进行了修改，室温下从硅中代位碳原子含量 １５ · －３ ５×１０ ａｔ ｃｍ （ ）到碳原子的最大溶解度， 时检测下限为 １４ · －３（ ）； ０．１ ｍａ ７７Ｋ ５×１０ ａｔ ｃｍ ０．０１ ｍａ ｐｐ ｐｐ ———补充了“术语”、“干扰因素”“报告”三章； ———在“操作步骤”中增加了“仪器检查”内容。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研 究所、峨嵋半导体材料厂。 本标准主要起草人：何秀坤、李静、段曙光、梁洪。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——— ／ — 、 ／ — 。 ＧＢＴ１５５８ １９７９ＧＢＴ１５５８ １９９７ Ⅰ