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SnO2系湿敏材料 湿敏材料 湿敏材料是一种功能材料，能与水分子产生物理或化学反应。 当周围环境的湿度变化时，材料的电阻或电容发生变化，长度或体积产生收缩，结型或MOS型湿敏材料的P-N结击穿电压、反向漏电流或电流放大系数发生变化，MOS型材料的沟道电阻发生变化，建立材料的这些电信号和湿度的对应关系，就实现了测量湿度的目的。 湿敏材料的表征 感湿特性曲线 ---感湿特征量随湿度变化的曲线，就是材料的感 湿特性曲线。 湿敏材料的感湿特性曲线 感湿特性参数 ---同其它的敏感材料一样，湿敏材料也有反映材料性能的特性参数，主要包括湿度量程、湿滞回差、响应时间、灵敏度、湿度温度系数。 其它重要性能 --- 抗老化性，长期稳定性，气体选择性… SnO2 的微观结构 SnO2属于单相结够，金红石结构是SnO2的稳定结构，属于四方晶系。 晶格常数a=0.4738nm，c=0.3188nm SnO2系湿敏材料 以SnO2为主要成分，再掺入其他组分制备的一大类湿敏陶瓷称为SnO2系湿敏陶瓷。 SnO2系湿敏陶瓷在室温下有很强的抗酸碱腐蚀能。 纯SnO2湿敏陶瓷的主要问题是低湿电阻高，湿度敏感性较差，电阻-湿度关系非线性不好以及具有响应滞后的问题，给后续电信号监控带来了困难。加入适当的添加剂(LiZnVO4和K+等)可使 SnO2系湿敏陶瓷的低湿电阻小，灵敏度适中以及响应恢复特性较好。 1. LiZnVO4 添加量对材料感湿灵敏度的影响 试样A 、B、C、D的感湿特性曲线 胡素梅, 陈海波, 傅刚. SnO2-LiZnVO4 系湿敏材料湿敏特性及介电特性. 电子元件与材料. 2007, 26(4): 37-39 2. 试样B的电抗特性 不同湿度时试样B的电抗–频率关系曲线 胡素梅, 陈海波, 傅刚. SnO2-LiZnVO4 系湿敏材料湿敏特性及介电特性. 电子元件与材料. 2007, 26(4): 37-39 试样B 在不同频率下的电抗–湿度关系曲线 胡素梅, 陈海波, 傅刚. SnO2-LiZnVO4 系湿敏材料湿敏特性及介电特性. 电子元件与材料. 2007, 26(4): 37-39 3. 试样B的电容量特性 不同湿度下试样B 的电容量–频率关系曲线 胡素梅, 陈海波, 傅刚. SnO2-LiZnVO4 系湿敏材料湿敏特性及介电特性. 电子元件与材料. 2007, 26(4): 37-39 4. 试样B 的响应–恢复特性 试样B 的响应–恢复特性 胡素梅, 陈海波, 傅刚. SnO2-LiZnVO4 系湿敏材料湿敏特性及介电特性. 电子元件与材料. 2007, 26(4): 37-39 结论 LiZnVO4通过液相掺杂法添加，改善了陶瓷的湿敏性能。RH在33 % ~ 93 %范围内试样电阻变化了3 个数量级灵敏度较高试样的响应时间和恢复时间均为55 s 左右。 工作频率对试样的电抗和电容量影响很大，试样在 100Hz时，电抗感湿特性曲线的线性度最好。在低频率范围，试样的电容量随RH的升高而增大，但高频率范围电容量几乎不随RH变化。用电抗来标定湿敏元件对湿度的响应不仅反映了晶粒间界处晶界电阻的变化也反映了晶界电容的变化。 报告完毕 谢谢！